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《平行度测量》.ppt
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平行度测量步骤平行度测量原理直线平行度旋转平行度.激光测量由以下组件构成：平行度测量配置线性平行度配置水平平面平行度替代设置水平平面平行度测量垂直平面平行度测量水平平面平行度替代设置测量垂直平面平行度替代设置测量旋转平行度准直平行光束旋转平行度准直旋转的旋转轴，连同直线度反射镜，通过180°。确保直线度干涉镜移动全程有足够的信号强度保持如下调整的要求。小幅度的垂直和水平激光转动。小角度和倾斜调整激光。小的垂直和水平直线度干涉镜的转动。细转动调整直线度干涉镜正面。直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。精细调整的回
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