光电测试技术-第5章 激光干涉测试技术(26).ppt
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光电测试技术- 激光外差干涉.ppt
激光外差干涉测试技术光电检测系统分类直接检测的基本原理激光外差干涉测试技术光外差探测系统一、光外差探测原理光外差探测与直接探测相比较有许多优点,在直接探测中由于光的振动频率高达2×1013~7.5×1014Hz,振动周期T为5×10-14~1.3×10-15s(可见光到中近红外),而探测器响应时间最短10-10s,它只能响应其平均能量或平均功率。在直接探测中,设光波动的圆频率为ω,振幅为A,则光波f(t)写成fs为信号光波,fL为本机振荡(本振)光波,这两束平面平行的相干光,经过分光镜和可变光阑入射到探测
光电测试技术-第5章 激光干涉测试技术(5/6).ppt
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激光干涉测试技术.doc
光电检测技术---------第三次作业班级:机测控11姓名:李谋学号:2110103013激光干涉测试技术技术原理,示意图,影响因素及提高方法特点:具有更高的测试灵敏度和准确度;绝大部分的干涉测试都是非接触式的,不会对被测件带来表面损伤和附加误差;较大的量程范围;抗干扰能力强;操作方便;在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域获得广泛应用。干涉条件通常能够产生干涉的两列光波必须满足三个基本相干条件:频率相同振动方向相同恒定的位相差在实际应用中,有时需要有意识地破坏上述条件。比如在外差干涉测量技术中,在两