真空检漏vacuum leak detection.ppt

第五章真空检漏
LeakDetection主要内容5.1概述真空检漏的基本概念5.2检漏的基本原理二.示漏气体与探测器
示漏气体：卤素；放射元素；氨气等
探测器：电离计等；

三、检漏方法的响应过程
立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定；
探查法

四、各种效应的利用

五、检漏器的性能指标Chapter5LeakDetectionContinuationofgeneralintroductionContinuationofgeneralintroductionDeterminationoftherealleaksContinuationofgeneralintroductionTableofleakratespecificationsLeakdetectionContinuationoftheprincipleofleakdetection5.3压力检漏法二.卤素检漏法二.卤素检漏法三、氨检漏法5.4真空检漏法一.高频火花检漏法(2)玻璃真空系统的检漏将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻璃系统外表面慢慢移动，没有漏孔时放电火花束呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束，且指向系统上亮点(漏孔内空气电离率远远大于玻璃的结果)，该亮点就是漏孔的位置。(3)金属真空系统的检漏各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。选用表中示漏物质施加在金属真空系统的可疑处，用高频火花检漏器激发系统上玻璃质规管或盲管内的气体，使之放电，观察放电颜色的变化便可实现检漏。这种方法的工作压力为5×10-1～102Pa，检漏灵敏度为10-3Pam3／s。表3各种气体和蒸汽的辉光放电颜色二.真空计检漏法三、质谱仪检漏法1．工作原理与结构在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪2性能试验方法②反应时间、清除时间及其测定反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。③工作真空、极限真空及入口处抽速质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。2．示漏气体
氦，why？P128
3．检漏方法
喷吹法、氦罩法、检漏盒法、吸枪法、充压法、背压法、累积法、选择性抽气法、检漏台法、逆流检漏法和标准漏孔比较法。
标准漏孔玻璃毛细管型标准漏孔（图中a）是用局部拉细的玻璃毛细管制成的，漏率为10-8~10-7Pam3/s。金属压扁型标准漏孔（图中b）通常是用无氧铜或可伐管压制而成，漏率为10-8~10-6Pam3/s。玻璃铂丝型标准漏孔（图中c）是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。
薄膜渗氦型标准漏孔（图中d）是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，其漏率一般为10-5~10-9Pam3/s。LeakdetectionLeakdetectionContinuationofhalogenleakdetectorSchematicdiagramofthehalogenleakdetectorContinuationofthemethodsofleakdetectionContinuationofthemethodsofleakdetectionContinuationofthemethodofleakdetectionMassspectrometerleakdetectorLeakdetection