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丝网印刷工艺流程: 丝网印刷基本原理是: 利用丝网图形部分网孔透浆料,非图文部分网孔不透浆料的基本原理进行印刷。印刷时在丝网 一端倒入浆料,用刮刀在丝网的浆料部位施加一定压力,同时朝丝网另一端移动。浆料在移动 中被刮板从图形部分的网孔中挤压到基片上。由于浆料的黏性作用而使印迹固着在一定范围之 内,印刷过程中刮板始终与丝网印版和承印物呈线接触,接触线随刮刀移动而移动,由于丝网 与承印物之间保持一定的间隙,使得印刷时的丝网通过自身的张力而产生对刮板的反作用力, 这个反作用力称为回弹力。由于回弹力的作用,使丝网与基片只呈移动式线接触,而丝网其它 部分与承印物为脱离状态,保证了印刷尺寸精度和避免蹭脏承印物。当刮板刮过整个印刷区域 后抬起,同时丝网也脱离基片,并通过回墨刀将浆料轻刮回初始位置,工作台返回到上料位置, 至此为一个印刷行程。 背面电极印刷(正极):为最终电池片提供物理上的正电极。浆料:Ag/Al浆如Fwrro3398 在电池片的正极面(p区)用银浆料印刷两条电极导线(宽约3~4mm)作为电池片的电极。 (1)与硅片表面和背场铝形成良好的欧姆接触,形成较低的接触电阻; (2)良好的可焊性,与镀锡带形成良好的接触,对外输出电流。 所谓欧姆接触,是指金属与半导体的接触,而其接触面的电阻远小于半导体本身的电阻,使 得组件操作时,大部分的电压降在活动区(Activeregion)而不在接触面。 背面电极印刷参数: 印刷速度250返料速度400丝网间距-1300 刮板压力65-85脱离速度35刮板高度-1200 烘箱温区1234全程时间 温度1001201501708 方案1: 缺点:焊条为长条状,浪费了Ag/Al浆 优点:一旦出现碎片后,可以顺利的划成碎片 方案2: 优点:可以大大节省Ag/Al浆,降低成本 缺点:一旦出现碎片后,断成小片,利用率大大降低 方案3: 优点:与铝背场形成良好的欧姆接触,铝浆料和银浆料有细栅线 的重叠部分,这样可以提高效率和填充因子。 总结:尽量减少铝浆与银铝浆的重叠部分,在显微镜下观察两者重叠部 分严重黑,即大量的有机溶剂没有充分挥发,这样就严重影响电 池效率和填充因子。 1号烘箱:干燥硅片,保障下步印刷时已印刷的背电极免遭破坏。 背电场印刷:重新参杂,去电池片背面PN结,减少载流子复合,增大开压。 浆料:Al浆如FerroFX53-038 (1)收集背部载流子,传送到背电极 (2)形成BSF,在硅片背面形成p+层可以减少金属与硅交界处的少子复合,从而提高开路电 压和增加短路电流。 背面场印刷参数 印刷速度250返料速度400丝网间距-1300 刮板压力80-85脱离速度35刮板高度-1200 烘箱温区1234全程时间 温度1001201401608 上述参数会根据浆料的粘稠度、网版性能、背面场印刷量做出适当调整。而影响所印铝浆的 厚度因素有:丝网目数、网线直径、开孔率、乳胶层厚度、印刷头压力、印刷头硬度、印刷 速度及浆料粘度。 设计理念:降低背面载流子复合,控制电池烧结后弯曲度。 厚度控制:太薄:与硅形成熔融区域而被消耗,较低的横向电导率。 太厚:烧结时不能完全去除有机物;浪费浆料;引起弓片。 2号烘箱:保障正电极印刷时背电场免遭破坏。 正电极印刷:搜集光生电流,提供电池片物理上的负电极。浆料:Ag浆如FerroCN33-462 在电池片的正面(喷涂减反射膜的面)同时用银浆料印刷一排间隔均匀的栅线和两条电极,在 工艺上要求栅线间距约3mm、宽度约O.10~0.12mm。 (1)收集载流子,对外输出光生电流; (2)减少遮光面积,最大面积实现光电转换。 正面电极的印刷参数: 印刷速度180返料速度400丝网间距-1400 刮板压力80-85脱离速度10刮板高度-1300 参数的调整以图形完整、线条饱满、印刷浆料重量适当为基准。 印刷后烘干的作用是使浆料中的有机物质挥发。 设计理念:提高电流的收集效率、低金属栅线电阻、低接触电阻、低遮光面积。 正面电极工艺要求: 栅线高宽要求:尽可能大的高宽比 目的:较小的宽度,减小遮光面积。较大的高度,增大的栅线横截面。 意义:减少由于栅线遮光造成的电池功率失,同时较大栅线横截面可以降低栅线的体电阻从 而降低由栅线电阻引起的功率损失。 软件控制参数意义: EnableMagazineLoader机器运行时从承载盒中吸取硅片 EnablePrinting选项不勾选时,印刷过程被跳过 EnableFlip-Over不勾选时,翻转器不工作 EnableLoadBreakageWafer不勾选时,翻转器不检查是否硅片破损 EnableOvenHeating允许炉子加热 EnableUnloadOven炉子只出硅片而不进硅片 Ena