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电容式触控技术解析

第三章LAYOUT分析

3.1什么是ITO

ITO是IndiumTinOxides的缩写，中文意为：氧化铟锡，是一种N型氧化

物半导体。ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，主要的性能指标是电阻率

和光透过率。。下面介绍一些关于ITO的分类：

3.1.1ITOGLASS

ITOGLASS，是通过ITO导电膜玻璃生产线,在无尘的生产环境中,利用平面磁控

技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的.

下面介绍一下关于ITOGLASS的分类：

（1）.按阻抗分类

分为高电阻玻璃（电阻在150~500奥姆）、普通玻璃（电阻在60~150奥

姆）、

低电阻玻璃（电阻小于60奥姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏

幕

制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一

般用于STN液晶显示器和透明线路板。

（2）.按尺寸分类

分为14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格

（3）.按厚度分类
分为2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚

度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。

（4）.按平整度分类

分为抛光玻璃和普通玻璃。

3.1.2ITOFILM

ITOFILM是指有硬涂层处理的PET胶片，是由PET和经过UV处理的耐化

学试剂硬涂层组成。

常用的ITOFILM按层数分类，一般分为单层，两层和三层。

ITOFILM与ITOGLASS在实际的生产过程中是有区别的，ITO在正式上生

产线之前，需要进行一道调质处理程序，即所谓的ITOFILM老化程序。

3.1.3ITO镀膜方式

（1）真空蒸渡

是指在真空状态（约0.01pa以下压力）下，加热金属，氧化物，硫化物

等使之挥发气化，从而在载体上形成薄膜层的技术。

真空蒸渡方式的分类：（1）电阻加热

（2）高频感应加热

（3）电子束加热

（2）溅镀

是指在真空状态下发生电离子化的高能粒子装机靶材，从而使构成靶材的

成分作为粒子溅出并附着于薄膜表面的加工工艺。

溅镀成膜的方式分类：（1）DC磁控管

（2）MC磁控管
（3）凝胶法（So——Gel）

是指现将ITO成分的粉末以液态之分散剂的形式均匀的悬浮于液体之中，

再以旋镀（SpinningCoating）或者锓镀（DippingCoating）的方式在载体

表面形成一层液态薄膜，走后再以高温将液体蒸发，并将ITO粉末烧成质密

薄膜状。

3.1.5ITO的结构

1.薄膜对薄膜结构

2.薄膜对玻璃结构

P2_1

P2_2

P2_3

3.薄膜对薄膜含承托结构

4.电容式结构

3.1.6ITO的制程

ITOFILM与ITOGLASS中ITO材质，银浆线材质，加工工艺

1.FILM的生产流程

FILM——开料——缩水——印耐酸——绝缘——粘胶——依规格书印刷

2.GLASS的生产流程

GLASS——清洗——印耐酸——印引银胶——绝缘点——粘胶——依规

格书印刷
3.1.7搭配ITO玻璃与搭配FILM的不同点

由于电容屏很容易受到终端系统内各种电磁辐射的干扰，所以，要做到平

稳的rowdata值和流畅的画线效果，就会对IC的处理速度和抗干扰性方面有着

很高的要求。

3.2单层布线

3.3双层布线

3.4ITO布线的注意事项

3.4.1蛇形走线，保持扫描线周围环境相等

3.4.2所有的导线在一边连接（即单边走线）

3.4.3保证每个pitch不超过6mm，理想值为5mm

3.4.4保证pattern之间的宽度与间距相等

3.4.5走向轨迹与dummy先匹配

3.4.6在x扫描线与y扫面线之间进行隔离
3.4.7Trace&Shielding4mm

3.4.8ITO布线举例