异常芯片检测方法与异常芯片检测系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113625149A(43)申请公布日2021.11.09(21)申请号202010376884.6(22)申请日2020.05.07(71)申请人美商矽成积体电路股份有限公司地址美国加利福尼亚州米尔皮塔司市巴克艾路1623号(72)发明人范寿康杨连圣(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人谢强黄艳(51)Int.Cl.G01R31/28(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图11页(54)发明名称异常芯片检测方法与异常芯片检测系统(57)摘要一种异常芯片检测方法与异常芯片检测系统。此异常芯片检测系统包含测试机台以及电脑系统。此异常芯片检测方法包含：根据目标芯片的位置来决定周边芯片；计算每一周边芯片的电子特性值与目标芯片的电子特性值的差值；根据电子特性差值的绝对值来排序，并根据排序结果来从周边芯片中决定出特性相近芯片；根据目标芯片的位置决定目标相关区域；根据目标芯片相关区域来从特性相近芯片决定出目标相关芯片；以及根据目标相关芯片来决定目标芯片是否合格。如此，可提高异常芯片的检测效率。CN113625149ACN113625149A权利要求书1/2页1.一种异常芯片检测方法，其特征在于，包含：提供一晶圆；根据该晶圆上的一目标芯片的位置来决定多个周边芯片；计算每一该些周边芯片的一电子特性值与该目标芯片的一电子特性值的差值，以获得多个电子特性差值，其中该些电子特性差值是一对一对应至该些周边芯片；根据该些电子特性差值的绝对值来排序，并根据排序结果来从该些周边芯片中决定出多个特性相近芯片；根据该目标芯片的位置决定一目标相关区域；根据该目标芯片相关区域来从所述多个特性相近芯片中决定出至少一个目标相关芯片；以及根据该至少一个目标相关芯片来决定该目标芯片是否合格。2.如权利要求1所述的异常芯片检测方法，其特征在于，所述多个周边芯片是环绕该目标芯片。3.如权利要求1所述的异常芯片检测方法，其特征在于，该目标相关区域为与该目标芯片的位置相连接的八个芯片位置。4.如权利要求1所述的异常芯片检测方法，其特征在于，根据该目标芯片相关区域来从所述多个特性相近芯片中决定出至少一个目标相关芯片的步骤包含：判断所述多个特性相近芯片的一者是否位于该目标芯片相关区域中；当所述多个特性相近芯片的该者位于该目标芯片相关区域中时，决定所述多个特性相近芯片的该者为该至少一个目标相关芯片。5.如权利要求1所述的异常芯片检测方法，其特征在于，根据该至少一个目标相关芯片来决定该目标芯片是否合格的步骤包含：判断该至少一个目标相关芯片的数量是否大于一预设阈值；当该至少一个目标相关芯片的数量大于该预设阈值时，判断决定该目标芯片为不合格。6.一种异常芯片检测系统，其特征在于，包含：一测试机台，用以接收一晶圆，该晶圆包含多个芯片，其中该测试机台更用以取得每一所述多个芯片的一电子特性值；一电脑系统，电性连接至该测试机台，用以：根据该晶圆上的一目标芯片的位置来决定多个周边芯片，其中该目标芯片为所述多个芯片中的一者，所述多个周边芯片为所述多个芯片中的多个；计算每一所述多个周边芯片的该电子特性值与该目标芯片的该电子特性值的差值，以获得多个电子特性差值，其中所述多个电子特性差值是一对一对应至所述多个周边芯片；根据所述多个电子特性差值的绝对值来排序，并根据排序结果来从所述多个周边芯片中决定出多个特性相近芯片；根据该目标芯片的位置决定一目标相关区域；根据该目标芯片相关区域来从所述多个特性相近芯片决定出至少一个目标相关芯片；以及根据该至少一个目标相关芯片来决定该目标芯片是否合格。2CN113625149A权利要求书2/2页7.如权利要求6所述的异常芯片检测系统，其特征在于，所述多个周边芯片是环绕该目标芯片。8.如权利要求6所述的异常芯片检测系统，其特征在于，该目标相关区域为与该目标芯片的位置相连接的八个芯片位置。9.如权利要求6所述的异常芯片检测系统，其特征在于，当该电脑系统根据该目标芯片相关区域来从所述多个特性相近芯片中决定出至少一个目标相关芯片时，该电脑系统用以：判断所述多个特性相近芯片的一者是否位于该目标芯片相关区域中；当所述多个特性相近芯片的该者位于该目标芯片相关区域中时，决定所述多个特性相近芯片的该者为该至少一个目标相关芯片。10.如权利要求6所述的异常芯片检测系统，其特征在于，当该电脑系统根据该至少一个目标相关芯片来决定该目标芯片是否合格时，该电脑系统用以：判断该至少一个目标相关芯片的数量是否大于一预设阈值；当该至少一个目标相关芯片的数量大于该预设阈值时，决定该目标芯片为不合格。3CN113625149A说明书1/5页异常芯片检测方法与异常芯片检测系统技术领域[0001]本发明涉及一种异常