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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113758421A(43)申请公布日2021.12.07(21)申请号202111054101.3(22)申请日2016.01.20(30)优先权数据15153841.02015.02.04EP(62)分案原申请数据201610037061.42016.01.20(71)申请人赫克斯冈技术中心地址瑞士赫尔布鲁格(72)发明人帕斯卡尔·乔迪尔J·斯蒂格瓦尔(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人王小东(51)Int.Cl.G01B11/00(2006.01)权利要求书4页说明书13页附图5页(54)发明名称坐标测量机(57)摘要本发明涉及一种坐标测量机。该坐标测量机包括:托架(12,30,31),用于作为目标的末端执行器(40)的支撑定位结构,末端执行器(40)能以至少三个自由度移动并由托架(12,30,31)定位;固定式计量台(35),作为可能目标对象的支撑;和控制单元,该控制单元控制由托架(12,30,31)进行的末端执行器(40)的移动。CMM进一步包括:至少一个特别是至少两个成像检测器(33),用于在六个自由度上测量并确定可能目标对象的位置;和分析单元,用于处理由成像检测器(33)传送的电子信号和/或数据。根据本发明,成像检测器(33)被牢固地安装至计量台(35)并与托架(12,30,31)机械地分离。CN113758421ACN113758421A权利要求书1/4页1.一种确定坐标测量机(20,21,22)的末端执行器的位置的方法,所述坐标测量机(20,21,22)包括:·托架(1,2,3,4,5,12,13,15a,15b,15c,15d,15e,15f,30,31),所述托架作为所述末端执行器(6,7,15g,40,40')的支撑和定位结构,所述末端执行器(6,7,15g,40,40')能在至少三个自由度上移动并且能由所述托架(1,2,3,4,5,12,13,15a,15b,15c,15d,15e,15f,30)定位,·固定式计量台(8,35),所述计量台作为用于可能目标对象的支撑,以及·至少一个成像检测器(33),所述成像检测器用于捕获图像,其中,所述方法包括:·由所述托架(1,2,3,4,5,12,13,15a,15b,15c,15d,15e,15f,30,31)移动所述末端执行器(6,7,15g,40,40'),以及·用所述成像检测器(33)捕获测量体积的至少一部分的图像,其特征在于,·接收表示覆盖所述末端执行器(6,7,15g,40,40')的至少一部分的所述图像的图像数据,·通过图像处理来确定与所述末端执行器(6,7,15g,40,40')相关的参考点在所述图像中的图像位置,以及·基于所述参考点的所述图像位置得到所述末端执行器的位置,其中,将所述至少一个成像检测器(33)牢固地安装至所述计量台(8,35)并且布置成与所述托架(1,2,3,4,5,12,13,15a,15b,15c,15d,15e,15f,30,31)机械地分离,并且所述末端执行器(6,7,15g,40,40')的移动与所述成像检测器(33)的帧速率同步,使得在获取周期期间仅在所述托架保持静止时拍摄图像。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述末端执行器(6,7,15g,40,40')的移动与任何末端执行器安装的传感器在时间上同步。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述托架在所述末端执行器安装的传感器的测量的曝光时间期间保持静止。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,避免快于200Hz的高频移动。5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,所述坐标测量机(20,21,22)包括至少两个成像检测器(33),其中所述方法包括:·利用所述至少两个成像检测器(33)捕获测量体积的至少一部分的图像,·接收表示所述图像的所述图像数据,每个图像均用不同的成像检测器(33)捕获并且覆盖所述末端执行器(6,7,15g,40,40')的至少一部分,·通过图像处理来确定与所述末端执行器(6,7,15g,40,40')相关的所述参考点在每个图像中的图像位置,以及·基于所述参考点的所述图像位置得到所述末端执行器的位置,其中,将所述成像检测器(33)牢固地安装至所述计量台(8,35)并且布置成与所述托架2CN113758421A权利要求书2/4页(1,2,3,4,5,12,13,15a,15b,15c,15d,15e,15f,30,31)机械地分离。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,·触发所述成像检测器(33)的快门时间,使得为所述成像检测器(33)提供在时间上共同的图像获取周期,·在所述共同的图像获取周期期间照明所述