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扫描电镜的结构及典型试样形貌观察.ppt

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扫描电镜的结构及典型试样形貌观察一实验目的KYKY-2800扫描电镜 扫描电子显微镜的主要性能 放大倍数电子束在样品表面扫描的幅度为As，在荧光屏阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则扫描电镜的放大倍数为:M=Ac/As。目前商品化的扫描电镜放大倍数可以从20倍调节到20万倍左右。 分辨率分辨率是扫描电镜的主要性能指标，它是指分辨两点之间的最小距离。分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定。电子束直径越小，分辨率越高。由于用于成像的物理信号不同，它们的分辨率也不同。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背反射电子像的约为50-200nm。X射线的分辨率则更低。 景深景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。电子束孔径角是决定扫描电镜景深的主要因素，它取决于末级透镜的光栅直径和工作距离。扫描电镜的末级透镜采用小孔径角，长焦距，所以可以获得很大的景深，它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深大10倍。因此用扫描电镜观察试样断口具有其它分析仪器无法比拟的优点。 图1KYKY-2800型扫描电镜扫描电镜（SEM）的用途扫描电镜的结构图3真空系统SEM基本原理1nm三扫描电镜样品的制备四利用扫描电镜观察样品形貌的操作步骤图5不同失效形 式的扫描图像 图a为表面失效形式中的波磨失效 图b为表面失效形式中的犁沟失效 图c为表面失效形式中的剥落失效图6不同断口形貌的扫描图像图6-a为断口形貌中的沿晶断裂 图6-b为断口形貌中的解理断裂 图6-c为断口形貌中的韧窝断裂 图6-d为断口形貌中的疲劳断裂 图7样品组织的扫描图像 图a为带有滑移线的奥氏体组织 图b为贝氏体组织五实验报告要求