液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113969134A(43)申请公布日2022.01.25(21)申请号202111161118.9(22)申请日2021.09.30(71)申请人江苏聚冠新材料科技有限公司地址225600江苏省扬州市高邮经济开发区长江路科技创业中心A2栋1层(72)发明人潘丹段晨龙陈学军贾宏艺沈连峰张虎(74)专利代理机构南京苏创专利代理事务所(普通合伙)32273代理人凤婷(51)Int.Cl.C09J191/06(2006.01)C09J11/00(2006.01)H01L21/304(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用(57)摘要本发明涉及一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用，制备方法包括如下步骤：将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按比例混合，并搅拌均匀，将热熔型粘接蜡加入，搅拌混合均匀，得到混合液b，进行过滤，去掉滤渣并装瓶，得到液体晶片粘接蜡。将液体晶片粘接蜡进行应用，根据单晶片的尺寸在抛光盘上目标位置滴上液体晶片粘接蜡，然后放上单晶片，压合并加热，使溶剂完全挥发后再冷却到常温，再放到抛光盘上进行抛光。单晶片固定时使得腊液平面分布较为均匀，平整度能得到保证，较整片的抛光盘上涂腊液的加工方式要平整，减少了加工困难。CN113969134ACN113969134A权利要求书1/1页1.一种液体晶片粘接蜡，其特征在于：包括环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚，所述乙醇质量比不高于5%，正丁醇质量比不高于15%。2.根据权利要求1所述的液体晶片粘接蜡，其特征在于：所述各组分的质量比依次为：环保碳氢溶剂35~51%，环己烷11~24%，乙醇3~5%，正丁醇8~12%，石油醚25~27%。3.根据权利要求2所述的液体晶片粘接蜡，其特征在于：所述各组分的质量比依次为：环保碳氢溶剂40%，环己烷19%，乙醇4%，正丁醇12%，石油醚25%。4.根据权利要求1所述的液体晶片粘接蜡的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1：将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按权利要求2中比例混合，并搅拌均匀，得到混合液a；步骤2：将热熔型粘接蜡加入步骤1得到的混合液a中，搅拌混合均匀，得到混合液b；步骤3：将步骤2得到的混合液b进行过滤，去掉滤渣并装瓶，得到液体晶片粘接蜡。5.权利要求4制得的液体晶片粘接蜡的应用，其特征在于：根据单晶片的尺寸在抛光盘上目标位置滴上2～4滴的所述液体晶片粘接蜡，然后放上单晶片，压合并加热，使溶剂完全挥发后再冷却到常温，再放到抛光盘上进行抛光。6.根据权利要求5的液体晶片粘接蜡的应用，其特征在于：所述加热时温度为100℃～n。120℃，保持3~5mi2CN113969134A说明书1/2页液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用技术领域[0001]本发明涉及一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用，属于晶片抛光加工技术领域。背景技术[0002]晶片加工时，切割下来的单晶片需要进行磨圆抛光工序，就是将单晶片固定在抛光盘上，抛光结束再取下清洗的一个过程。目前固定用的材料主要是热熔的粘接蜡，具体工艺是先将抛光盘加热到粘接蜡熔点以上，然后将粘接蜡在热的抛光盘上涂抹成一层蜡液，再用滚轮或刮片将蜡液涂抹均匀，接着将单晶片(通常是4～6片)放到抛光盘上，压平并冷却，再把抛光盘移到抛光机上进行抛光。[0003]本工艺存在一个明显的缺陷，即一次不管抛光多少片单晶片，都需要将整个抛光盘都涂上粘接蜡，造成资源浪费，而且因为蜡液的流动性高，在滚涂或刮涂时并不能控制均匀力度，导致单晶片固定时不够水平，则抛光结束后晶片常有厚薄偏差超标的次品。发明内容[0004]发明目的：针对上述现有存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种液体晶片粘接蜡及其制备方法和应用，单晶片固定时使得腊液平面分布较为均匀，平整度能得到保证，较整片的抛光盘上涂腊液的加工方式要平整，减少了加工困难。[0005]技术方案：为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案：一种液体晶片粘接蜡，包括环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚，所述乙醇质量比不高于5%，正丁醇质量比不高于15%。[0006]进一步的，所述各组分的质量比依次为：环保碳氢溶剂35~51%，环己烷11~24%，乙醇3~5%，正丁醇8~12%，石油醚25~27%。[0007]进一步的，所述各组分的质量比依次为：环保碳氢溶剂40%，环己烷19%，乙醇4%，正丁醇12%，石油醚25%。[0008]液体晶片粘接蜡的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将环保碳氢溶剂、环己烷、乙醇、正丁醇和石油醚按权利要求2中比例混合，并搅拌均匀，得到混合液a；步骤2：将热熔型粘接蜡加入步骤1得到的混合液a中，搅拌混合均