负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114114838A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202111414854.0(22)申请日2021.11.25(71)申请人长沙惠科光电有限公司地址410000湖南省长沙市浏阳经济技术开发区康平路109号申请人惠科股份有限公司(72)发明人姜庆杨文萍廖辉华李荣荣(74)专利代理机构深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司44232代理人金云嵋(51)Int.Cl.G03F7/038(2006.01)G03F7/004(2006.01)G09F9/30(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法(57)摘要本申请属于光刻胶技术领域，具体涉及负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法。其中，负性光刻胶的制备方法包括：获取初始碱可溶性树脂，所述初始碱可溶性树脂中含有热引发剂；去除热引发剂，以制得目标碱可溶性树脂；将所述目标碱可溶性树脂与光刻胶基础材料按照预设比例进行混合，以制得不含热引发剂的负性光刻胶。本申请通过提纯初始碱可溶性树脂，减少或去除热引发剂，可延缓或避免热引发剂产生的小分子积聚在掩膜板上，保证了曝光精度和工厂的产能。CN114114838ACN114114838A权利要求书1/2页1.一种负性光刻胶的制备方法，其特征在于，包括：获取初始碱可溶性树脂，所述初始碱可溶性树脂包括碱可溶性树脂和混合在所述碱可溶性树脂中的热引发剂；对所述初始碱可溶性树脂进行提纯处理，以制得目标碱可溶性树脂，所述目标碱可溶性树脂内热引发剂的含量小于所述初始可溶性树脂内热引发剂的含量；将所述目标碱可溶性树脂与光刻胶基础材料按照预设比例进行混合，以制得负性光刻胶。2.根据权利要求1所述的负性光刻胶的制备方法，其特征在于，所述目标碱可溶性树脂内热引发剂的含量为0。3.根据权利要求1所述的负性光刻胶的制备方法，其特征在于，所述初始碱可溶性树脂在第一预设气压下制备而成；其中，所述对所述初始碱可溶性树脂进行提纯处理，包括：在第二预设气压下对所述初始碱可溶性树脂进行加热处理，所述第二预设气压小于所述第一预设气压；和/或利于洗脱剂对所述初始碱可溶性树脂进行洗脱处理。4.根据权利要求3所述的负性光刻胶的制备方法，其特征在于，所述第二预设压力为80Pa～140Pa，所述加热处理对应的加热温度为50℃～110℃。5.根据权利要求3所述的负性光刻胶的制备方法，其特征在于，所述利于洗脱剂对所述初始碱可溶性树脂进行洗脱处理，包括：利于多种不同配比的洗脱剂对所述初始碱可溶性树脂进行多次洗脱处理；其中，所述洗脱剂包括乙酸乙酯和石油醚，在所述多次洗脱处理中，所述乙酸乙酯与所述石油醚之间的比值按照预设梯度值从75％逐渐减小至0。6.根据权利要求1所述的负性光刻胶的制备方法，其特征在于，所述获取初始碱可溶性树脂，包括：按质量百分比计，将13％～18％的甲基丙烯酸、17％～23％的甲基丙烯酸甲酯、20％～28％的甲基丙烯酸丁酯、17％～23％的甲基丙烯酸苄酯、1％～3％的氢供体试剂、7％～10％热引发剂和25％～40％的第一溶剂混合，制得所述初始碱可溶性树脂。7.根据权利要求1所述的负性光刻胶的制备方法，其特征在于，所述光刻胶基础材料包括：染料、单体、光引发剂、功能性添加剂和第二溶剂；其中，所述将所述目标碱可溶性树脂与光刻胶基础材料按照预设比例进行混合，包括：按质量百分比计，将9％～11％的所述目标碱可溶性树脂、5％～8％的所述染料、5.8％～11％的所述单体、0.1％～0.2％的所述光引发剂、0.1％～0.2％的所述功能性添加剂和69％～81％的所述第二溶剂混合，制得所述负性光刻胶。8.一种负性光刻胶，其特征在于，所述负性光刻胶通过权利要求1～7中任意一项所述的负性光刻胶的制备方法制得。9.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成负性光刻胶，所述负性光刻胶通过权利要求1～8中任意一项所述的负性光刻胶的制备方法制得；利用掩膜板对所述负性光刻胶进行图案化处理，以形成目标功能图案。10.一种显示面板，其特征在于，包括衬底基板和如权利要求9所述的目标功能图案，所2CN114114838A权利要求书2/2页述目标功能图案形成在所述衬底基板上。3CN114114838A说明书1/7页负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法技术领域[0001]本申请属于光刻胶技术领域，具体涉及一种负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法。背景技术[0002]现有的负性光刻胶容易在TFT‑LCD的黄光制程中的曝光工艺激发，产生低沸点的有机小分子，小分子升华后遇冷吸附在掩膜板上，随着被曝光的玻璃基板的增多，产生的小分子积聚在掩膜板上