机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114266223A(43)申请公布日2022.04.01(21)申请号202111601770.8(22)申请日2021.12.24(71)申请人上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司地址201821上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室申请人上海集成电路研发中心有限公司(72)发明人余学儒李琛孙红霞田畔张飞翔(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司11205代理人孙静臧建明(51)Int.Cl.G06F30/398(2020.01)权利要求书3页说明书11页附图7页(54)发明名称机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质(57)摘要本发明提供一种机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质，该方法包括：获取权重向量、各个晶圆对应的晶圆向量以及图案真实值；在各台机台中确定目标机台；获取每台目标机台对晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个图案真实值、晶圆向量、权重向量、每台目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值；在优化值满足设定条件时，根据每台目标机台对应的期望值以及权重向量确定每台目标机台对应的贡献值；在各个贡献值中确定各个目标贡献值，并将每个目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台。本发明中，通过装置对晶圆的图案进行缺陷分析以确定出现故障的机台，无需人工辨识晶圆的缺陷，提高了机台的故障确定精度。CN114266223ACN114266223A权利要求书1/3页1.一种机台的故障确定方法，其特征在于，包括：获取权重向量、各个第一晶圆对应的第一晶圆向量以及第一图案真实值，其中，每台机台在所述第一晶圆向量中具有对应的第一数值，所述第一数值用于表示所述第一晶圆是否经过所述机台，所述第一图案真实值是根据各个所述机台对经过的第一晶圆叠加图案确定的；在各台所述机台中确定目标机台，所述目标机台的数量是小于或等于所述机台的总数量；获取每台所述目标机台对所述第一晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值；在所述优化值满足设定条件时，根据每台所述目标机台对应的期望值以及所述权重向量确定每台所述目标机台对应的贡献值；在各个所述贡献值中确定各个目标贡献值，并将每个所述目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台，所述目标贡献值是大于或等于第一阈值的贡献值。2.根据权利要求1所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述权重向量包括第一权重向量，所述目标机台的数量是小于所述机台的总数量，所述在各台所述机台中确定目标机台的步骤包括：确定所述第一晶圆向量以及所述第一权重向量之间的哈达玛积得到第一分量；采用预设函数，在所述第一分量中的每行数值中确定最大数值；将每个所述最大数值对应的机台确定为所述目标机台。3.根据权利要求2所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述权重向量还包括第二权重向量以及第三权重向量，所述根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值的步骤包括：根据所述目标机台对应的最大数值、所述第一分量、以及所述第二权重向量确定所述目标机台对应的第二分量；根据每台所述目标机台对应的第二分量以及期望值确定均值估计值；根据所述每台所述目标机台对应的第二分量、方差值以及所述第三权重向量确定方差估计值；根据所述方差估计值、所述均值估计值以及各个所述第一图案真实值确定所述优化值。4.根据权利要求3所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述根据所述目标机台对应的期望值以及所述权重向量确定所述目标机台对应的贡献值的步骤包括：确定所述目标机台对应的期望值与所述第一权重向量、所述第二权重向量之间的哈达玛积，以作为所述目标机台对应的贡献值。5.根据权利要求1所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值的步骤之后，还包括：在所述优化值不满足设定条件时，获取各个第二晶圆对应的第二晶圆向量以及第二图案真实值，每台所述机台在所述第二晶圆向量中具有对应的第二数值，所述第二数值用于2CN114266223A权利要求书2/3页表示所述第二晶圆是否经过所述机台；更新权重向量、每台所述机台对应的期望值以及方差值，并将所述第二晶圆向量更新为第一晶圆向量，且将所述第二图案真实值更新为第一图案真实值；返回执行所述在各台所述机台中确定目标机台的步骤。6.根据权利要求1所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述将每个所述目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台的步骤包括：获取每台待确定机台关联的各个历史