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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114326626A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202111636127.9(22)申请日2021.12.29(71)申请人苏州赛美特科技有限公司地址215000江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G2-2101单元(72)发明人何建波(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人刘凤(51)Int.Cl.G05B19/418(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图5页(54)发明名称基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质(57)摘要本公开提供了一种基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质,其中,该方法包括:获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息;对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息,得到整体对比结果;对比所述第一生产参数信息中的第一子参数信息和所述第二生产参数信息中的第二子参数信息,得到详细对比结果;将所述整体对比结果展示在主生产监控页面,将所述详细对比结果展现在子生产监控页面。这样,可以提升数据比对准确性,通过将不同形式结果进行分层展示,可以提高用户的阅读效率。CN114326626ACN114326626A权利要求书1/2页1.一种基于RMS系统的数据呈现方法,其特征在于,所述方法包括:获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息,其中,所述第一生产参数信息和第二生产参数信息为相同生产参数对应的信息;对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息,得到整体对比结果;对比所述第一生产参数信息中的第一子参数信息和所述第二生产参数信息中的第二子参数信息,得到详细对比结果,其中,所述第一子参数信息和第二子参数信息为相同生产参数对应的信息;将所述整体对比结果展示在主生产监控页面,将所述详细对比结果展现在子生产监控页面。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过以下方式获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息:基于用户选择的目标机台的机台标识,获取该目标机台中所有生产半导体的生产数据序列的名称,其中,生产数据序列具有不同的版本信息,所述版本信息包括生效版本和草稿版本;根据用户选择的生产数据序列的名称,确定具有该名称的生产数据序列;基于从具有该名称的生产数据序列中筛选出的具有该名称的、生效版本的生产数据序列,确定所述生产数据序列的第一生产参数信息。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息,得到整体对比结果之前,所述方法还包括:检测是否存在与所述第一生产参数信息的名称和腔体标识相同的所述第二生产参数信息,得到检测结果;其中,腔体标识为生产半导体的容器的标识;将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,若检测结果为存在,所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面,包括:将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式并排展现在所述主生产监控页面;其中,所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有相同的生产参数信息名称和腔体标识。5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,若检测结果为不存在,所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面,包括:将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式独立的、具有颜色标识的展现在所述主生产监控页面;其中,所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有不同的生产参数信息和腔体名称。6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将所述整体对比结果展示在的主生产监控页面,将所述详细对比结果展现在子生产监控页面,包括:将所述整体对比结果以链接文本的形式展现在主生产监控页面;建立所述整体对比结果和所述详细对比结果的映射关系,并将建立映射关系后的所述2CN114326626A权利要求书2/2页详细对比结果以表单的形式展现在子生产监控页面,以响应用户在主生产监控页面的点击操作,跳转到子生产监控页面。7.一种基于RMS系统的数据呈现装置,其特征在于,所述装置包括:数据获取模块,用于获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息,其中,所述第一生产参数信息和第二生产参数信息为相同生产参数对应的信息;第一对比模块,用于对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息,得到整体对比结果;第二对比模块,用于对比所述第一生产参数信息中的第一子参数