气体滤净装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115025564A(43)申请公布日2022.09.09(21)申请号202110242840.9(22)申请日2021.03.05(71)申请人志圣科技(广州)有限公司地址510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号(72)发明人林华伟邱浚沧(74)专利代理机构北京泰吉知识产权代理有限公司11355专利代理师史瞳顾以中(51)Int.Cl.B01D46/12(2022.01)B01D53/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称气体滤净装置(57)摘要一种气体滤净装置，包含外筒结构及冷凝结构。所述外筒结构包括外筒体及筒盖。所述外筒体远离所述筒盖的一端形成排气出口。所述筒盖形成贯通至所述外筒体的进气入口。所述冷凝结构包括自所述筒盖内侧朝所述排气出口延伸的内筒、分别连通至所述内筒的流入管道与流出管道，及数个连接于所述内筒外侧且沿所述内筒的延伸方向间隔排列的冷凝板。每一冷凝板具有连通孔。两两相邻的冷凝板的连通孔彼此错置。所述进气入口、所述连通孔与所述排气出口可依序导引气体通过，使气体与所述内筒、所述冷凝板以最大接触面积热交换，并让气体中的部分成分降温凝结，达到所述气体滤净装置过滤气体的效率提升的目的。CN115025564ACN115025564A权利要求书1/1页1.一种气体滤净装置，其特征在于：其包含：外筒结构，包括外筒体，及封闭所述外筒体的一端的筒盖，所述外筒体远离所述筒盖的一端形成排气出口，所述筒盖形成贯通至所述外筒体的进气入口；及冷凝结构，包括自所述筒盖内侧朝所述排气出口延伸的内筒、分别连通至所述内筒的流入管道与流出管道，及数个连接于所述内筒外侧且沿所述内筒的延伸方向间隔排列的冷凝板，每一冷凝板具有连通孔，两两相邻的冷凝板的连通孔彼此错置，其中，所述内筒与所述冷凝板为具高热传递特性的材质，且所述流入管道、所述内筒与所述流出管道可依序导引导热流体通过，以将所述内筒与所述冷凝板的热能通过导热流体导出，并且所述进气入口、所述连通孔与所述排气出口可依序导引气体通过，使气体与所述内筒、所述冷凝板产生热交换而让气体中的部分成分降温凝结。2.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：在冷凝板的径向上的投影上，两两相邻的冷凝板的连通孔以所述内筒的轴线为中心分别对称地形成于所述冷凝板。3.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：在冷凝板的径向上的投影上，所述进气入口与相邻的所述连通孔以所述内筒的轴线为中心分别对称地形成于所述筒盖与相应的所述冷凝板。4.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：所述冷凝板的侧缘与所述外筒体的内表面密合，使气体仅能依序自所述连通孔通过而至所述排气出口。5.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：所述流入管道与所述流出管道皆贯穿所述筒盖，且所述流入管道自所述筒盖朝所述内筒底部延伸，并且所述流入管道至所述内筒底部的距离小于所述流出管道至所述内筒底部的距离，使导热流体可自所述内筒的底部朝所述内筒的顶部流动。6.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：所述筒盖可分离地锁固于所述外筒体，当所述筒盖与所述外筒体分离，所述冷凝结构可随着所述筒盖移动而自所述外筒体取出。7.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：所述筒盖还形成贯通至所述外筒体的侦测口，所述气体滤净装置还包含压力检测计，所述压力检测计设置于所述侦测口，以量测所述外筒体内的压力值。8.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：所述内筒的外径大于所述流入管道与所述流出管道的外径。9.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：每一冷凝板仅具有一个连通孔。10.根据权利要求1所述的气体滤净装置，其特征在于：每一连通孔的孔径大于各所述冷凝板的厚度。2CN115025564A说明书1/4页气体滤净装置技术领域[0001]本发明涉及一种气体滤净装置，特别是涉及一种适用于使挥发性气体凝结滞留的气体滤净装置。背景技术[0002]现有的晶圆在热处理制程的加热过程中，会因为受热而使晶圆上所涂布的涂层挥发出气体，导致热处理制程的加热设备中充斥着挥发性气体。为了避免挥发性气体自加热设备排出后会污染外在环境，通常会于加热设备的排气装置上加装气体滤净装置，以滤净挥发性气体，避免环境污染。因此，如何有效率的滤净挥发性气体就成为值得研究的课题。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种过滤气体的效率提升的气体滤净装置。[0004]本发明所述的气体滤净装置包含外筒结构及冷凝结构。[0005]所述外筒结构包括外筒体，及封闭所述外筒体的一端的筒盖。所述外筒体远离所述筒盖的一端形成排气出口。所述筒盖形成贯通至所述外筒体的进气入口。[0006]所述冷凝结构