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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113953281A(43)申请公布日2022.01.21(21)申请号202111270255.6(22)申请日2021.10.29(71)申请人智程半导体设备科技(昆山)有限公司地址215000江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房(72)发明人华斌刘国强李文轩(74)专利代理机构苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙)32351代理人储振(51)Int.Cl.B08B9/027(2006.01)B08B9/032(2006.01)F26B21/00(2006.01)F26B21/14(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图13页(54)发明名称旋转式石英管清洗干燥装置(57)摘要本发明提供了旋转式石英管清洗干燥装置,包括底座,设置于底座内并箍持石英管的唇口的承载台,与承载台活动扣合以整体遮蔽石英管的清洗帽,驱动清洗帽作轴向转动的第一驱动装置,整体驱动清洗帽与第一驱动装置沿竖直方向作升降运动的第二驱动装置,与承载台呈竖直设置并贯穿承载台的内喷管,以及驱动内喷管作轴向转动的第三驱动装置;清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴,内喷管设置竖直延伸入石英管内部的若干第二喷嘴,当清洗帽与承载台呈扣合状态以整体遮蔽石英管时,清洗帽被第一驱动装置驱动以执行轴向转动。本发明避免了石英管晃动及清洗干燥过程中对石英管的内外壁面造成划伤问题,并具有更好的清洗效果。CN113953281ACN113953281A权利要求书1/2页1.旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,包括:底座,设置于底座内并箍持石英管的唇口的承载台,与承载台活动扣合以整体遮蔽石英管的清洗帽,驱动清洗帽作轴向转动的第一驱动装置,整体驱动清洗帽与第一驱动装置沿竖直方向作升降运动的第二驱动装置,与所述承载台呈竖直设置并贯穿承载台的内喷管,以及驱动所述内喷管作轴向转动的第三驱动装置;所述清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴,所述内喷管设置竖直延伸入石英管内部的若干第二喷嘴,当清洗帽与承载台呈扣合状态以整体遮蔽石英管时,所述清洗帽被第一驱动装置驱动以执行轴向转动。2.根据权利要求1所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,清洗帽与承载台呈扣合状态时,所述清洗帽与内喷管保持同步同向转动,以分别通过第一喷嘴与第二喷嘴形成的喷射束流对石英管的外壁面与内壁面执行清洗处理和/或干燥处理。3.根据权利要求2所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,所述承载台的外侧边缘形成部分收容清洗帽的底部的环槽,当清洗帽与承载台呈扣合状态时,清洗帽的底部与环槽沿竖直方向分离,以形成供喷射束流外泄且环形设置的第一泄压通道。4.根据权利要求2所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,所述承载台沿竖直方向向上形成至少两层直径渐缩且逐级升高布置的定位凸台,所述定位凸台径向向外向下凹陷,以形成供喷射束流外泄且径向设置的第二泄压通道。5.根据权利要求1所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,所述清洗帽包括:帽体,设置于帽体外侧的至少一个分流管,以及连通分流管并与帽体呈一体式结构的供应管,所述分流管连接设置于清洗帽的内壁面的若干第一喷嘴。6.根据权利要求5所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,还包括:设置于所述清洗帽顶部的旋转平台,设置于旋转平台下方的定滑环与动滑环,所述定滑环与动滑环之间设置滑片;所述供应管竖直贯穿定滑环及滑片,并与动滑环形成一整体结构,动滑环连接清洗帽,所述第二驱动装置设置沿竖直方向连接所述旋转平台的吊臂;所述供应管沿竖直方向向上贯穿所述旋转平台与吊臂,并在所述第一驱动装置的驱动下转动,以整体驱动清洗帽作轴向转动。7.根据权利要求2所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,还包括:嵌设于所述底座的密封离合装置,所述内喷管沿竖直方向连续贯穿承载台与密封离合装置,所述内喷管的末端及侧部设置若干第二喷嘴,以通过所述第二喷嘴喷射形成与石英管的内部腔体适配的圆柱状的喷射束流。8.根据权利要求7所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,所述底座包括:底板,自底板环形布置并向上设置的内环壁,所述内环壁径向向外且水平延伸形成底壁,所述底壁的外侧形成垂直环形围合所述底壁的外环壁,所述底板向上凸设一圆台,所述密封离合装置沿竖直方向贯穿承载台与圆台。9.根据权利要求7所述的旋转式石英管清洗干燥装置,其特征在于,所述密封离合装置包括:同轴纵向布置的轴承座,承托所述承载台的转接筒及隔水环,所述转接筒竖直向下贯穿过所述圆台并压持隔水环,所述承载台上方并围合所述内喷管的径向内侧设置被所述轴承座压持的第一密封圈,所述承载台下方的径向内侧嵌设围合所述内喷管的第二密封圈,所述第二密封圈沿竖直方向被承载台与转接