制备石墨烯的CVD设备方案.doc

郑州成越科学仪器有限公司联系人：郑祥攀手机：[phone]电话：[phone]传真：[phone]网址：HYPERLINK"http://www.zzcyky.com"www.zzcyky.com产品用途主要用作石墨烯制备。产品参数产品型号可选：单温区CY-O1200-100-IC双温区CY-O1200-100-IIC三温区CY-O1200-100-IIIC炉体结构高纯Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性.炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.密封法兰系统全不锈钢制作整机功率单温区5KW双温区5KW三温区7.5KW供电电压208-240VAC,50/60Hz,单相最高工作温度1100℃连续工作温度1000℃炉管材质和尺寸石英管OD100xID96x1400mm（单温区）石英管OD100xID96x1500mm（双温区）石英管OD100xID96x1600mm（三温区）加热区长度单温区加热区长度:440mm双温区加热区长度:220mm+220mm三温区加热区长度:220mm+440mm+220mm控温精度+/-1℃温控系统采用PID方式调节，可设置30段升降温程序带有过热和断偶保护升温速率建议≤10℃/min真空法兰一对SS304不锈钢法兰，通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。炉子底部装有一对滑轨炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。为了得到较快的加热速度，可以先将炉子预热，然后滑到放置样品的位置。为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。混气系统3路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制.MFC1范围:0~100sccmMFC2范围:0~200sccmMFC3范围:0~200sccm气路:3路流量精度:0.2%进气和出气接口:1/4"卡套一个混气罐.每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。真空泵安装在移动架底部的分子泵，真空度达133.32X10-5Pa.真空泵与手动挡板阀之间用KF25快接与不锈钢波纹管连接.设备结构：公司简介郑州成越科学仪器有限公司是一家集研制、生产、销售于一体的综合性公司，公司位于河南省省会郑州。主营箱式电炉、管式电炉、高温电炉、钟罩炉、升降炉、真空炉、电炉配件等。多年以来，坚持以客户需求为导向，致力于不断提高产品的质量和完善的服务，努力确保客户满意。在坚持自主创新的基础上吸收国内外优秀产品的先进技术，结合国内实际情况研究开发、生产加热设备和实验仪器。产品广泛用于大专院校、科研院所，各类企业等；广泛用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产。