2020年中国离子注入机行业产量、市场规模、竞争格局分析[图].docx

2020年中国离子注入机行业产量、市场规模、竞争格局分析[图]1、离子注入机政策环境分析离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机。这些离子注入机的运行原理基本相似，但是注入计量范围和具体在工艺中的主要应用各有不同。离子注入机类型离子注入机类型能量范围注入剂量范围工艺中的主要应用低能大束流离子注入机离子束流电流大于10mA,极值为25mA,束流能量小于120keV1013-1016cm-2超浅结、源漏注入、多晶硅栅极注入等高能离子注入机束流能量超过200keV，极值在5MeV左右1011-1013cm-2深埋层等中低束流离子注入机离子束电流大于10mA，束流能量小于180keV1011-1017cm-2栅阈值调整、轻掺杂漏区、SIMOX、SmartCut穿透阻挡层等离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。从政策环境上来看，我国对于离子注入机行业较为重视。其主要表现在将离子注入机在多项政策中列为推荐发展的关键设备。如《国家集成电路产业发展推荐纲要》中明确提出，要离子注入机作为关键设备进行研发；《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》（2019年版）也将中束流、大束流、高能离子注入机等离子注入机列入了名录。中国离子注入机行业主要政策规划政策相关内容《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》（2019年版）将高效N型晶体硅太阳能电池离子注人机等太阳能电池生产生产装备，以及中束流、大束流、高能离子注人机等离子注人机列入名录。《战咯性新兴产业重点产品和服务指导目录》主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用的离子注入机。《国家集成电路产业发展推荐纲要》宪破集成电路关键装备和材料加薄集成电路装备;离子注入机作为关键设备进行研发。高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型。长久以来，因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒，被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”，是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》（2019年版）离子注入机应用技术指标领域产品名称技术指标集成电路生产装备离子注入机（1）中束流离子注入机：晶圆尺寸≤300mm；单片注入模式，硅片传输效率≥450pcs/h；注入均匀性≤0.5%；注入重复性≤0.5%；能量范围：2～900keV；（2）大束流离子注入机：晶圆尺寸≤300mm；单片注入模式，硅片传输效率≥450pcs/h；注入均匀性≤1%；注入重复性≤1%；能量范围：200～50keV；（3）高能离子注入机：晶圆尺寸≤300mm；单片注入模式，硅片传输效率≥450pcs/h；注入均匀性≤0.5%；注入重复性≤0.5%；能量范围：2～1500keV平板显示器生产装备LTPS薄膜晶体管离子注入机基片尺寸≥1500mm×1800mm；机械传输产能≥58面板/小时（2次扫描）；X射线（80keV）：600nSv/h；离子种类：磷、硼太阳能电池生产装备高效N型晶体硅太阳能电池离子注入机生产能力≥3000pcs/h；注入剂量：5e14～5e16/cm2；兼容硅片尺寸：156.75～161.75mm；兼容硅片厚度：120～180μm；磷源：固态红磷（0.29分/片）2、离子注入机产量、需求量、市场规模分析HYPERLINK"https://www.chyxx.com/research/202104/948242.html"\h智研咨询发布的《2021-2027年中国离子注入机行业市场发展现状分析及供需格局预测报告》显示：2020年我国离子注入机产量为26台，2016年以来产量复合增长率为59.67%；2020年我国离子注入机需求为256台，2016年以来需求复合增长率为13.00%。近年来，随着凯世通等国内生产商研发生产能力的提升，我国光伏领域离子注入机基本实现进口替代，并逐步向集成电路领域渗透。2016年我国离子注入机市场规模为23.22亿元，2020年我国离子注入机市场规模达到44.53亿元，2016年以来我国离子注入机规模复合增速为17.68%。2020年我国离子注入机市场规模达到了445315万元，其中集成电路领域规模达到了432400万元，同比增长54.10%，光伏及其他领域达到了12915万元，同比增长24.13%，离子注入机行业两大市场存在一定