2022年电子特气行业市场现状及发展前景分析.docx
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2022年电子特气行业市场现状及发展前景分析1.电子特气种类丰富,应用广泛特种气体应用广泛,产品附加值较高。特种气体按其应用可分为电子特种气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等,广泛应用于电子半导体、化工、医疗、环保、高端装备制造等领域,其中电子特气是指应用于集成电路、新型显示等领域的特种气体,可用于化学气相沉积、离子注入、光刻、扩散、刻蚀、掺杂等多个环节,约占50%的制造成本。半导体晶圆制造所需电子特气种类超50种,单一气体销量较少,但要求极高,并且随着集成电路制造进程的技术改进,电
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