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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107132027A(43)申请公布日2017.09.05(21)申请号201710255136.0(22)申请日2017.04.18(71)申请人中国科学院半导体研究所地址100083北京市海淀区清华东路甲35号(72)发明人文俊李伟李明祝宁华(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人任岩(51)Int.Cl.G01M11/02(2006.01)H04B10/079(2013.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称光器件宽带频率响应值的测量方法及装置(57)摘要一种光器件宽带频率响应值的测量方法及装置,包括以下步骤:放置待测光器件;光信号经载波相位可调的双边带调制单元转换为双边带光信号;双边带光信号经光电探测器后转换为电信号,微波幅度相位探测器探测电信号得到第一幅相响应信息;调节载波相位可调的双边带调制单元,改变载波相位,重复上述步骤,得到第二幅相响应信息;矢量分析计算单元根据事先测量的参考、第一和第二幅相响应信息得到光器件的宽带频率响应值。本发明利用双边带调制的光信号探测光器件矢量频率响应,可成倍的拓宽测量范围;双边带信号的产生降低了系统复杂度,同时消除了低频盲区及消光比有限带来的误差。CN107132027ACN107132027A权利要求书1/2页1.一种光器件宽带频率响应值的测量方法,包括以下步骤:步骤1、放置待测光器件于载波相位可调的双边带调制单元和光电探测器之间;步骤2、将一光信号经由一载波相位可调的双边带调制单元,转换为双边带光信号;步骤3、所述双边带光信号经由待测光器件和光电探测器后转换为电信号,所述电信号由一微波幅度相位探测器探测得到第一幅相响应信息;步骤4、调节所述载波相位可调的双边带调制单元,改变载波相位,重复步骤2~3,得到第二幅相响应信息;步骤5、矢量分析计算单元根据事先测量的一参考幅相响应信息、第一幅相响应信息和第二幅相响应信息,得到所述光器件的宽带频率响应值。2.如权利要求1所述的测量方法,其中,所述载波相位可调的双边带调制单元通过一扫频微波源的调制信号进行调制,所述扫频微波源扫频输入得到所述待测光器件的宽带频率响应。3.如权利要求1所述的测量方法,其中,所述第一幅相响应信息和第二幅相响应信息为±1阶边带处响应值的线性叠加。4.如权利要求1所述的测量方法,其中,所述参考幅相响应信息为不放置待测光器件时,通过所述步骤2和步骤3探测得到。5.一种光器件宽带频率响应值的测量装置,包括:光信号产生模块,用于产生双边带光信号;光电探测器,用于分别探测未经过待测光器件和经过待测光器件的第一和第二双边带光信号,并将所述探测得到的第一和第二双边带光信号转换为第一和第二电信号;测量模块,用于根据所述第一电信号得到参考幅相响应信息,根据所述第二电信号得到实际幅相响应信息;并根据所述参考幅相响应信息和实际幅相响应信息得到所述光器件的宽带频率响应值。6.如权利要求5所述的光器件宽带频率响应值的测量装置,其中,所述光信号产生单元包括一可调激光器和一载波相位可调的双边带调制单元,其中:可调激光器,用于发射光信号;载波相位可调的双边带调制单元,用于将所述光信号转换为双边带光信号。7.如权利要求6所述的光器件宽带频率响应值的测量装置,其中,所述测量装置还包括一扫频微波源,用于发射调制信号至所述载波相位可调的双边带调制单元进行调制,还用于扫频输入得到所述待测光器件的宽带频率响应。8.如权利要求7所述的光器件宽带频率相应值的测量装置,其中,所述实际幅相响应信息包括不同载波相位下得到的第一幅相响应信息和第二幅相响应信息;通过调节所述载波相位可调的双边带调制单元得到载波相位不同的第三双边带光信号和第四双边带光信号,两种双边带光信号分别经由所述待测器件、光电探测器和测量模块得到所述第一幅相响应信息和第二幅相响应信息;所述待测光器件位于所述载波相位可调的双边带调制单元和所述光电探测器之间。9.如权利要求6所述的光器件宽带频率响应值的测量装置,其中,所述载波相位可调的双边带调制单元包括载波抑制双边带调制器和光载波调相单元,或光强度调制器和光相位调制器。2CN107132027A权利要求书2/2页10.如权利要求5所述的光器件宽带频率响应值的测量装置,其中,所述测量模块包括一微波幅度相位探测器和一矢量分析计算单元,其中:微波幅度相位探测器,用于探测所述电信号得到参考幅相响应信息或实际幅相响应信息,并将所述参考幅相响应信息或实际幅相响应信息传输至所述矢量分析计算单元;矢量分析计算单元,用于根据所述参考幅相响应信息和实际幅相响应信息,得到所述待测光器件的宽带频率响应值。3CN107132027A说明书1/7页光器件宽带频率响应值的测