一种多孔式风刀装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108534539A(43)申请公布日2018.09.14(21)申请号201810458571.8(22)申请日2018.05.14(71)申请人安徽宏实自动化装备有限公司地址230001安徽省合肥市经济技术开发区习友路以东、芙蓉路以北25#厂房(72)发明人陈琮岳简健哲(51)Int.Cl.F26B21/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种多孔式风刀装置(57)摘要一种多孔式风刀装置，包括风刀本体，风刀本体为一体成型式结构，风刀本体包括刀身、刀面和连接头，所述刀身为梯形柱状，刀身的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面为矩形板状，连接头为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身的梯形大端底面不封口端与刀面连接一体，刀身的梯形小端上端面不封口端与连接头的柱腔连接一体，刀面与刀身的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔和盲孔，通孔竖直位于连接头的柱腔下方，盲孔分别位于通孔两侧，且一侧盲孔竖直位于刀身一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔倾斜指向刀身另一侧内腔侧壁。运用白努利原理，在基板表面造成一诱导流场，引导残留在基板表面及孔内之流体流出，与处理流体置换，实现对孔内的处理。CN108534539ACN108534539A权利要求书1/1页1.一种多孔式风刀装置，其特征是，包括风刀本体(10)，所述风刀本体(10)水平安装在湿式制程设备的挂架上，且风刀本体(10)对称安装在基板两侧，风刀本体(10)为一体成型式结构，风刀本体(10)包括刀身(11)、刀面(12)和连接头(13)，所述刀身(11)为梯形柱状，刀身(11)的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面(12)为矩形板状，连接头(13)为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身(11)的梯形大端底面不封口端与刀面(12)连接一体，刀身(11)的梯形小端上端面不封口端与连接头(13)的柱腔连接一体，刀面(12)与刀身(11)的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔(14)和盲孔(15)，通孔(14)竖直位于连接头(13)的柱腔下方，盲孔(15)分别位于通孔(14)两侧，且一侧盲孔(15)竖直位于刀身(11)一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔(15)倾斜指向刀身(11)另一侧内腔侧壁。2.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述倾斜盲孔(15)指向侧的刀身(11)侧壁壁厚比另一侧刀身(11)侧壁的壁厚大。3.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述刀面(12)的竖直盲孔(15)侧端部设有向上的斜坡口(16)。4.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述刀身(11)外壁上设有便于挂持的连接件。5.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述连接头(13)段设有高效空气空滤器(17)。6.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述风刀本体(10)安装在湿式制程机台上，其外部设有隔音罩。7.根据权利要求1所述的一种多孔式风刀装置，其特征是，所述刀面(12)与基板表面的间距在125～150mils。2CN108534539A说明书1/2页一种多孔式风刀装置技术领域[0001]本发明涉及湿式制程设备领域，尤其涉及一种多孔式风刀装置。背景技术[0002]湿式制程机台在封装、光伏、面板产业使用目前属于成熟型机种设计，但在部分机构设计，使用上有维修困难、切水不良、药液耗用量大等等问题。其中切水不良及药液耗用量大的问题，是目前比较常见的问题，针对这一问题，目前的设计大多在机构段设计上采用安装风刀的方式进行解决，风刀一般采用斜置的方式，占用空间大，通过风刀切水及药液风刀回切，增加对象表面切水及减少药液带出耗用量，但通过这种方式增加风刀，必须具备高流量及压力的输出条件，在高流量或压力条件下，容易造成对象商服逶迤及抖动，因此需要在机构设计上设计上压制滚轮克服因风压造成对象的上浮位移及抖动。发明内容[0003]本发明正是针对现有技术存在的不足，提供了一种多孔式风刀装置。[0004]为解决上述问题，本发明所采取的技术方案如下：[0005]一种多孔式风刀装置，包括风刀本体，所述风刀本体水平安装在湿式制程设备的挂架上，且风刀本体对称安装在基板两侧，风刀本体为一体成型式结构，风刀本体包括刀身、刀面和连接头，所述刀身为梯形柱状，刀身的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面为矩形板状，连接头为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身的梯形大端底面不封口端与刀面连接一体，刀身的梯形小端上端面不封口端与连接头的柱腔连接一体，刀面与刀身的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔和盲孔，通孔竖直位于连接头的柱腔下方，盲孔分别位于通孔两侧，且一侧盲孔竖直位于刀身一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔倾斜指