红外焦平面读出电路及红外焦平面探测器.pdf
霞英****娘子
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本申请实施例提供一种红外焦平面读出电路及红外焦平面探测器。该电路包括:有效象元阵列单元、参考遮光象元单元、参考盲象元单元、电容跨阻放大器单元及选择输出单元。参考遮光象元单元中的每个参考遮光象元子单元与有效象元阵列中对应的一行有效象元子单元电性连接,且参考盲象元单元包括的一列参考盲象元子单元中的其中一个参考盲象元子单元与每个参考遮光象元子单元电性连接。由此,在不设置TEC的情况下,可通过控制每个参考遮光象元子单元与对应的一行有效象元子单元的通电时间相同,进而保证对应的参考遮光象元子单元及有效象元子单元受到的
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本申请实施例提供一种红外焦平面读出电路及红外焦平面探测器。该电路包括:有效象元阵列单元、备选单元、参考盲象元单元、电容跨阻放大器单元及选择输出单元。备选单元包括选择子单元及多个备选参考象元子单元。参考盲象元单元包括一行参考盲象元子单元,其中一个参考盲象元子单元经选择子单元与每个备选参考象元子单元电性连接,剩余的其它每个参考盲象元子单元与有效象元阵列单元中对应的一列有效象元子单元电性连接。由此,可根据实际情况从备选单元中选出无加工缺陷的备选参考象元子单元作为参考象元子单元,以使电路正常工作,该电路具有良率高
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本公开涉及一种红外焦平面探测器,红外焦平面探测器中CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备,红外焦平面探测器中,第一柱状结构位于反射层与梁结构之间,第二柱状结构位于吸收板与梁结构之间,第一柱状结构和第二柱状结构均为实心柱状结构,红外焦平面探测器还包括超材料结构和/或偏振结构。通过本公开的技术方案,解决了传统MEMS工艺红外焦平面探测器的性能低,像素规模低,良率低以及一致性差的问题,有利于提高红外焦平面探测器的结构稳定性,增加吸收板的面积,提升红外焦平面探测器的红外探测灵敏度,且有利