预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共12页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109425436A(43)申请公布日2019.03.05(21)申请号201710743508.4(22)申请日2017.08.25(71)申请人中国科学院西安光学精密机械研究所地址710119陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号(72)发明人王兴刘虎林田进寿韦永林温文龙何凯辛丽伟(74)专利代理机构西安智邦专利商标代理有限公司61211代理人汪海艳(51)Int.Cl.G01J11/00(2006.01)G01J5/20(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种日盲紫外单光子成像系统及方法(57)摘要本发明属于单光子探测技术领域,尤其涉及一种日盲紫外单光子成像系统及方法,紫外单光子信号入射穿过透紫外玻璃;光电阴极与背照式CMOS位于真空腔室内,光电阴极附着于透紫外玻璃表面且正对背照式CMOS,背照式CMOS位于光电阴极相对侧的真空腔室内壁上;光电阴极设置有高压电极引线,高压电极引线与读出电路连接,通过外部高压电源供电;背照式CMOS设置有电极引脚,所述电极引脚与读出电路连接;读出电路与图像采集与显示单元连接。本发明采用日盲紫外光电阴极与固体互补金属氧化物半导体相结合的方式,具有光电阴极的高灵敏度、电子轰击半导体的高增益低噪声、固体互补金属氧化物半导体的数字化显示和高帧速的特点。CN109425436ACN109425436A权利要求书1/1页1.一种日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:包括真空腔室、光电阴极、背照式CMOS、读出电路及图像采集与显示单元;还包括透紫外玻璃,紫外单光子信号入射穿过透紫外玻璃;所述光电阴极与背照式CMOS位于真空腔室内,所述光电阴极附着于透紫外玻璃表面且正对背照式CMOS,所述背照式CMOS位于光电阴极相对侧的真空腔室内壁上;所述光电阴极设置有高压电极引线,高压电极引线与读出电路连接,通过外部高压电源供电;所述背照式CMOS设置有电极引脚,所述电极引脚与读出电路连接;所述读出电路与图像采集与显示单元连接。2.根据权利要求1所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述真空腔室由透紫外玻璃、管壳及铟封环构成,所述背照式CMOS位于管壳内壁上,所述管壳通过铟封环与透紫外玻璃铟封;所述管壳的材料为陶瓷或玻璃。3.根据权利要求2所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:还包括陶瓷封接芯柱,所述高压电极引线及电极引脚均通过陶瓷封接芯柱引出真空腔室,所述陶瓷封接芯柱与读出电路板连接。4.根据权利要求3所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述光电阴极为Cs-Te、Rb-Te光电阴极。5.根据权利要求1所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述透紫外玻璃设置于真空腔室内,所述真空腔室包括透紫外玻璃窗、电极引线法兰与真空闸板阀,通过真空泵组对真空腔室抽真空实现真空环境,所述透紫外玻璃正对真空腔室的紫外玻璃窗,所述高压电极引线及电极引脚均通过电极引线法兰引出真空腔室,所述电极引线法兰与读出电路板连接。6.根据权利要求1所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述透紫外玻璃设置于真空腔室内,所述真空腔室包括紫外玻璃窗、电极引线法兰与铟封环,所述透紫外玻璃正对真空腔室的紫外玻璃窗,设置有透紫外玻璃窗的真空腔室部分与设置有电极引线法兰的真空腔室部分通过铟封环铟封。7.根据权利要求5或6所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述光电阴极的材料为金或CsI、KBr。8.根据权利要求1或2或5或6所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述光电阴极与背照式CMOS之间的距离为0.5mm-5mm;所述光电阴极的厚度为20nm-100nm。9.根据权利要求8所述的日盲紫外单光子成像系统,其特征在于:所述图像采集与显示单元设置有无线传输单元。10.一种基于权利要求1至9任一所述的日盲紫外单光子成像系统的成像方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:通过光电阴极将入射的紫外光转化为光电子;步骤二:给光电阴极施加高压,使光电子到达背照式CMOS半导体材料表面轰击半导体材料,产生电子增益;步骤三:背照式CMOS将电子增益的电信号放大和收集,再经过图像采集与显示单元采集信号,实现紫外单光子成像。2CN109425436A说明书1/5页一种日盲紫外单光子成像系统及方法技术领域[0001]本发明属于单光子探测技术领域,具体涉及一种日盲紫外单光子成像系统及方法。背景技术[0002]日盲紫外波段位于240-280nm的中紫外区,在这个波段,由于大气分子的散射作用和地表臭氧的吸收作用,该谱段太阳辐射几乎无法入射至臭氧层以下的大气层中。因此,当大气背景中出现日盲紫外谱段的辐射源时,由于太阳光等紫外辐射的能量非常有限,可利用目标