柔性日盲型紫外光探测器及其制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109671796A(43)申请公布日2019.04.23(21)申请号201811605620.2(22)申请日2018.12.26(71)申请人浙江清华柔性电子技术研究院地址314000浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号17号楼(72)发明人冯雪王志建陈颖(74)专利代理机构上海波拓知识产权代理有限公司31264代理人李萌(51)Int.Cl.H01L31/09(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图1页(54)发明名称柔性日盲型紫外光探测器及其制作方法(57)摘要一种柔性日盲型紫外光探测器及其制作方法，包括下电极、氮化铝膜层及上电极，所述下电极包括铝基底，所述氮化铝膜层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层，所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次形成于所述下电极上，所述上电极形成于所述第二氮化铝膜层上，所述第一氮化铝膜层由所述铝基底的表面经过氮化处理而形成。该柔性日盲型紫外光探测器中的氮化铝膜层与基底之间的结合力较强。CN109671796ACN109671796A权利要求书1/2页1.柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：包括下电极、氮化铝膜层及上电极，所述下电极包括铝基底，所述氮化铝膜层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层，所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次形成于所述下电极上，所述上电极覆盖于部分所述第二氮化铝膜层上，并使部分所述第二氮化铝膜层露出于所述上电极外所述第一氮化铝膜层由所述铝基底的表面经过氮化处理而形成。2.如权利要求1所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述第二氮化铝膜层为通过沉积工艺形成的第二氮化铝膜层。3.如权利要求1所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述下电极还包括衬底层，所述铝基底形成于所述衬底层上。4.如权利要求3所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述衬底层为铝箔，所述衬底层与所述铝基底形成于一体。5.如权利要求3所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述衬底层为铝合金，所述铝基底形成于所述衬底层上。6.如权利要求3所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述衬底层为非铝金属箔，所述柔性日盲型紫外光探测器还包括第一过渡膜层及第二过渡膜层，所述第一过渡膜层设置于所述衬底层上，所述第二过渡膜层形成于所述第一过渡膜层上，所述第一过渡膜层为与衬底层同材质金属形成的膜层，所述第二过渡膜层为铝与衬底层同材质金属的合金的膜层。7.如权利要求6所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述第一过渡膜层为由所述衬底层同材质的金属在所述衬底层上通过沉积工艺形成的膜层，所述第二过渡膜层为在所述第一过渡膜层上通过磁过滤多弧离子镀方法沉积所述铝基底的同时形成的膜层，所述第二过渡膜层位于所述第一过渡膜层和所述铝基底之间。8.如权利要求3所述的柔性日盲型紫外光探测器，其特征在于：所述柔性日盲型紫外线探测器还包括柔性高分子膜层，所述衬底层形成于所述柔性高分子膜层上。9.柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：提供铝基底；对所述铝基底进行氮化处理，在所述铝基底的表面上形成第一氮化铝膜层；在所述第一氮化铝膜层上形成第二氮化铝膜层；在所述第二氮化铝膜层上形成上电极。10.如权利要求9所述的柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：采用霍尔离子源对所述铝基底进行氮化处理以得到所述第一氮化铝膜层。11.如权利要求9所述的柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：通过沉积工艺在所述第一氮化铝膜层上形成第二氮化铝膜层。12.根据权利要求9所述的柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：该方法还包括提供衬底层，并将所述铝基底形成于所述衬底层上。13.根据权利要求12所述的柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：当所述衬底层为铝合金时，该方法还包括：通过沉积工艺将所述铝基底沉积于所述衬底层上。14.根据权利要求12所述的柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：当所述2CN109671796A权利要求书2/2页衬底层为非铝材质金属时，该方法还包括：通过沉积工艺在所述衬底层上形成第一过渡膜层，所述第一过渡膜层为与所述衬底层同材质金属形成的膜层；通过磁过滤多弧离子镀在所述第一过渡膜层上沉积所述铝基底，同时在所述铝基底与所述第一过渡膜层之间形成第二过渡膜层，所述第二过渡膜层为与所述衬底层同材质金属及铝的合金形成的膜层。15.根据权利要求12所述的柔性日盲型紫外光探测器的制作方法，其特征在于：该方法还包括提供一柔性高分子膜层，并将所述衬底层形成于所述柔性高分子膜层上。3CN109671796A说明书1/8页柔性日盲型紫外光探测器及其制作方法技术领域[0001]本