PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110187417A(43)申请公布日2019.08.30(21)申请号201910573183.9(22)申请日2019.06.27(71)申请人电子科技大学地址610000四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号(72)发明人彭倍张遒姝王松徐锦涛(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人覃蛟(51)Int.Cl.G02B3/00(2006.01)G03F7/00(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图4页(54)发明名称PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法(57)摘要本申请实施例提供一种PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，涉及微透镜技术领域。PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法包括：对PDMS片状体进行拉伸，PDMS片状体包括相对的第一表面和第二表面，且PDMS片状体具有阵列设置的圆形盲孔，圆形盲孔的开口位于第一表面，保持PDMS片状体处于拉伸状态使得圆形盲孔的内径变大，且保持开口的圆形截面形状不变；将PDMS薄膜层粘贴于处于拉伸状态下的PDMS片状体的第一表面并覆盖圆形盲孔的开口，且PDMS薄膜层与第一表面连接；对PDMS片状体释放拉力使得PDMS薄膜在PDMS片状体收缩后形成微透镜结构。该制作方法能够制备出阵列微透镜结构。CN110187417ACN110187417A权利要求书1/2页1.一种PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，包括：对PDMS片状体进行拉伸，所述PDMS片状体包括相对的第一表面和第二表面，且所述PDMS片状体具有阵列设置的圆形盲孔，所述圆形盲孔的开口位于所述第一表面，保持所述PDMS片状体处于拉伸状态使得所述圆形盲孔的内径变大，且保持所述开口的圆形截面形状不变；将PDMS薄膜层粘贴于处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面并覆盖所述圆形盲孔的开口，且所述PDMS薄膜层与所述第一表面连接；对所述PDMS片状体释放拉力使得所述PDMS薄膜层在所述PDMS片状体收缩后形成微透镜结构。2.根据权利要求1所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述PDMS薄膜层粘贴于所述处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面的方法包括：将可转移PDMS薄膜粘贴于处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面，所述可转移PDMS薄膜包括依次层叠的第一基材层、光刻胶层和所述PDMS薄膜层，所述光刻胶层由未曝光的光刻胶制成，所述PDMS薄膜层靠近所述第一表面设置；利用显影液去除所述光刻胶层后，再去除所述第一基材层。3.根据权利要求2所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述将可转移PDMS薄膜粘贴于处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面的方法包括：利用粘接层将所述可转移PDMS薄膜的所述PDMS薄膜层粘接于所述PDMS片状体的所述第一表面，粘接层选自含有PDMS预聚物和固化剂的PDMS液膜。4.根据权利要求3所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述利用粘接层将所述可转移PDMS薄膜的所述PDMS薄膜层粘接于所述PDMS片状体的所述第一表面的步骤包括：将所述PDMS液膜形成于第二基材层的表面得到功能层，将所述功能层覆盖于所述处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面并覆盖圆形盲孔的开口，且所述PDMS液膜靠近所述第一表面设置；移除所述第二基材层，将所述可转移PDMS薄膜覆盖于所述PDMS液膜的表面，且使得所述PDMS薄膜层与所述PDMS液膜贴合；将所述PDMS液膜固化。5.根据权利要求2所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述将可转移PDMS薄膜粘贴于保持拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面的方法包括：对所述可转移PDMS薄膜的所述PDMS薄膜层和所述第一表面进行等离子处理后，将所述PDMS薄膜层与所述第一表面贴合并键合。6.根据权利要求2所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述可转移PDMS薄膜的制作方法包括以下步骤：在所述第一基材层的表面涂覆光刻胶液体，对涂覆有所述光刻胶液体的所述第一基材层加热以蒸发掉所述光刻胶液体中的溶剂，冷却后，所述第一基材层形成所述光刻胶层；将含有PDMS预聚物和固化剂的PDMS液体涂覆于所述光刻胶层的表面，加热后所述PDMS液体固化，使得所述PDMS薄膜层形成于所述光刻胶层的表面。7.根据权利要求6所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述PDMS液体固化的PDMS液体固化的温度18～22℃，固化时间为40～50h。2CN110187417A权利要求书2/2页8.根据权利要求1-7任一项所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述PDMS