使用柔性电子平台的可折叠数字微流体装置及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114127531A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202080037265.2(74)专利代理机构上海翼胜专利商标事务所(22)申请日2020.03.20(普通合伙)31218代理人翟羽(30)优先权数据62/821,5122019.03.21US(51)Int.Cl.62/861,1822019.06.13USG01N1/00(2006.01)G01N21/75(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.11.19(86)PCT国际申请的申请数据PCT/CA2020/0503722020.03.20(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/186360EN2020.09.24(71)申请人尼科亚生命科学股份有限公司地址加拿大安大略省基奇纳市(72)发明人戈登·霍尔权利要求书3页说明书8页附图11页(54)发明名称使用柔性电子平台的可折叠数字微流体装置及其制造方法(57)摘要本申请公开了一种使用柔性电子平台的可折叠数字微流体(DigitalMicrofluidic，DMF)装置及其制造方法。可折叠数字微流体装置包括具有薄铜特征的柔性聚酰亚胺基板，柔性聚酰亚胺基板可进行折叠以提供相对的多个基板。可折叠数字微流体装置还包括同样具有薄铜特征的柔性聚酰亚胺介电层。在一些实施例中，用于形成本公开的可折叠数字微流体装置的结构是基于使用盲孔。在一些实施例中，可折叠数字微流体装置包括一个液滴致动层。在其他实施例中，可折叠数字微流体装置包括多个液滴致动层。此外，本申请公开了一种制造可折叠数字微流体装置的方法。CN114127531ACN114127531A权利要求书1/3页1.一种可折叠数字微流体(DMF)装置，其特征在于，包括：柔性基板；多个液滴操作电极，设置在所述柔性基板的第一部分处的所述柔性基板的至少第一侧上；接地参考电极，设置在所述柔性基板的第二部分处的所述柔性基板的至少所述第一侧上；以及折叠区域，设置在所述柔性基板的所述第一部分和所述柔性基板的所述第二部分之间。2.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，还包括：在所述柔性基板的至少所述第一侧上的介电层，所述介电层在所述多个液滴操作电极的致动电极部分顶端上相对于所述第一部分进行延伸。3.根据权利要求2所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述接地参考电极设置在所述介电层的顶端上。4.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，还包括：疏水层，设置在所述柔性基板的所述第一侧上，所述疏水层至少相对于所述柔性基板的所述第一部分和所述第二部分进行延伸。5.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述装置可配置为以下其中一者：所述第一部分和所述第二部分基本上共平面的第一配置；以及所述折叠区域被弯曲以对与所述第二部分相对的所述第一部分进行定位的第二配置，使得所述第一部分通过液滴操作间隙与所述第二部分分离以形成液滴致动层。6.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，当处于所述第二配置时，所述第一部分的所述多个液滴操作电极和所述第二部分的所述接地参考电极基本上平行。7.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，当处于所述第二配置时，所述可折叠数字微流体装置在三个侧面上被密封，所述三个侧面包括在处于所述第二配置中的所述可折叠数字微流体装置的相对侧上的第一侧部分和第二侧部分以及与所述折叠区域相对的端部分。8.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述液滴致动层包含填充流体且液滴可在所述填充流体移动。9.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述液滴致动层包括气隙且液滴可在所述气隙移动。10.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，在所述液滴致动层中的液滴包括围绕所述液滴的至少一部分的油壳。11.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，还包括：传感器，用于当处于所述第二配置时测量所述可折叠数字微流体装置中的流体。12.根据权利要求11所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述传感器可操作为监测在所述液滴致动层中的液滴移动。13.根据权利要求11所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述传感器包括表面2CN114127531A权利要求书2/3页等离子体共振(SPR)传感器。14.根据权利要求13所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述表面等离子体共振传感器设置在设置于所述液滴致动层中的光纤的尖端。15.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述柔性基板包括：多个片段的重复图案，所述多个片段的每一个包括通过所述折叠区域分隔的所述第一部分的实例