电极及制备电极的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102473563102473563B(45)授权公告日2014.07.23(21)申请号201080027528.8H01J17/04(2012.01)(22)申请日2010.07.01H01J11/22(2012.01)(30)优先权数据(56)对比文件12/496,9202009.07.02USCN1135085A,1996.11.06,全文.JP特开2006-30853A,2006.02.02,全文.(85)PCT国际申请进入国家阶段日US4122232,1978.10.24,全文.2011.12.20审查员韩颖姝(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2010/0407192010.07.01(87)PCT国际申请的公布数据WO2011/002964EN2011.01.06(73)专利权人E·I·内穆尔杜邦公司地址美国特拉华州(72)发明人黑木正胜(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人朱黎明(51)Int.Cl.H01J1/02(2006.01)H01J1/14(2006.01)H01J9/02(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书15页说明书15页附图2页附图2页(54)发明名称电极及制备电极的方法(57)摘要本发明涉及通过在空气中焙烧感光浆料而形成的低电阻的、精细的电极，所述感光浆料包含无机组分和有机组分，所述无机组分包括铜粉、硼粉和玻璃料，所述有机组分包括光聚合引发剂、单体和有机载体，其中所述铜粉的平均粒度为2.5μm或更小，并且按所述铜粉和所述硼粉的总量计，所述硼粉的含量为8-25重量％。CN102473563BCN10247356BCN102473563B权利要求书1/1页1.通过在空气中焙烧感光浆料而形成的电极，所述浆料包含无机组分和有机组分，所述无机组分包括铜粉、硼粉和玻璃料，所述有机组分包括光聚合引发剂、光聚合单体和有机载体，其中所述铜粉的平均粒度为2.5μm或更小，并且按所述铜粉和所述硼粉的总量计，所述硼粉的含量为8-25重量%。2.根据权利要求1的电极，其中所述硼粉的平均粒度为3μm或更小，并且所述电极的薄膜厚度为1-4μm。3.根据权利要求1的电极，所述电极用于等离子显示屏，其中体积电导率为1.6×10-4Ω·cm。4.制造用于等离子显示屏的电极的方法，所述方法包括以下步骤：施加感光浆料，所述感光浆料包含无机组分和有机组分，所述无机组分包括铜粉、硼粉和玻璃料，所述有机组分包括光聚合引发剂、光聚合单体和有机载体，其中所述铜粉的平均粒度为2.5μm或更小，并且按所述铜粉和所述硼粉的总量计，所述硼粉的含量为8-25重量%；干燥所述施加的感光浆料；使所述干燥的感光浆料曝光；使所述曝光的感光浆料显影；以及在空气中焙烧所述显影的感光浆料以形成电极图案。5.根据权利要求4的制造电极的方法，其中所述硼粉的平均粒度为3μm或更小，并且所述电极的薄膜厚度为1-4μm。6.根据权利要求4的制造电极的方法，其中所述单体含量相对于所述无机组分含量为8-35重量%。7.根据权利要求4的制造电极的方法，其中所述感光浆料中[无机组分的重量]/[有机组分的重量]的比率为1.2-3.5，其中所述无机组分的重量指所述无机组分的总重量，所述有机组分的重量指除溶剂之外的所述有机组分的总重量，并且[单体的重量]/[无机组分的重量]的比率为0.1-0.3。2CN102473563B说明书1/15页电极及制备电极的方法[0001]发明背景发明领域：[0002]本发明涉及电气装置的电极，更具体地讲，本发明涉及电极中所包括的导电组分的改进。[0003]发明背景：[0004]众所周知，在一些方法中，导体浆料被用作电极的原材料。电极图案的微粉化已随着电气装置的功能性改进而不断发展，并且使用感光浆料在图案上形成精细线条。例如，精细的电极图案被用于提高等离子显示屏(PDP)的分辨率。[0005]除了光聚合引发剂、导电组分、玻璃料、有机基料和溶剂之外，感光浆料的组合物通常还包含单体。所施加的感光浆料穿过掩模曝光，并且曝光处的单体发生聚合。此后，进行显影和焙烧，从而形成包含导电组分和玻璃基料的电极。[0006]通常将银用作导电组分(例如美国专利5047313和美国专利20050287472)。由于金、银和钯等贵金属可在空气中焙烧，因此可减少对熔炉的资金投入。然而，由于贵金属价格昂贵，所以使用贵金属会造成材料成本剧增。[0007]铜是半导体电路等制品中被广泛使用的导电组分。与银相比，铜的优势在于价格更低。但铜不能够在空气中焙烧，因为它易于氧化，这样便增大了资金投入，因为需要在氮保护等气氛下进行焙烧。[0008]将硼和金属粉末