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光成像工艺知识讲述内容一、干膜知识APart:聚醋盖膜(保护膜)冲影时撕去1milPolyesterCoverSheetBPart:光阻膜层PhotopdlymerFilmResistCPart:聚乙烯隔膜、贴膜时撕去PolyettylencSeparatorSheet厚度1mil附图于下一页干膜结构-附图干膜各层作用聚乙烯隔膜避免卷膜、运输、储存时干膜药膜与保护膜之间相互粘贴(厚度25µm-30µm测本公司干膜隔膜27µm)光阻膜层(药膜层)光聚反应的主体1.粘合剂1.粘合剂*将干膜各组份粘结成膜是光阻层的骨架主要影响膜层的物理性能在光聚合过程中不参与化学反应但其决定光阻剂是属于溶性、半水溶性和溶剂性干膜粘洁剂决定干膜的Tg点。2.光聚合反应单体*聚合反应主体单体吸收自由基后进行聚合反应形成商分小聚合体。3.感光启动剂感光启始剂吸收特定波长紫外光(一般320-400nm)启动剂自行裂解而产生自由基为聚合反应提供条件。4.促化剂与附着力促进剂增进光阻层与铜面之间的附着力防止粘结不牢而引起的渗镀与甩膜。5.染料a.干膜本身制造时方便进行检查。b.曝光前后有明显颜色变化便于已曝光板与未曝光的区分及目检。a.感光增色:曝光后颜色加深。b.感光褪色:曝光后颜色变浅。6.热阻聚剂干膜在生产及应用过程中很多步骤需接受高温为阻止热能使干膜发生聚合作用而加入热阻聚剂7.溶剂将各有效成份溶解。启始剂吸收UV光的能量后先自行分裂产生自由基自由基引发光聚反应形成交联聚合物不溶于显影液而未曝光的光阻膜被显影液剥去聚合成像部分保留在铜面上。设备典型部件1〉磨刷及喷嘴主要物料1.磨刷材质:尼龙;颜色:白色;规格:针粗0.35mm整刷外径81mm针长37.2mm刷长635mm;更换周期:一周(更换成本比较高);2.酸硫酸浓度为3~5%温度为常温;3.火山灰质量参数:公司采用的为HESS的4F牌号火山灰其主要化学成分为SiO2:72.10%;AL2O3:12.33%;Fe2O3:1.34%颗粒分布范围:小于68um(+/-5um)颗粒占90%大于25um(+/-5um)的颗粒占50%以上。主要控制要点磨痕类型E、磨板后质量检查a.目检板面是否有氧化、水迹、污物.板面清洁度。b.水膜测试测试方法:取板面清洁处理后的板用水浸湿板面并垂直放置用秒表测量水腊膜破裂的时间c.板面粗糙度:经磨板后的板面粗糙程度(2.0µm左右).*行业界人员定义一些参数衡量粗糙度如Ra;表面取样长度内基准线上所有距离绝对值的算术平均值;一般0.2-0.4µm.Rt;表面取样长度内最高峰顶和最低谷度之间的距离1.5-3.0µm一般用目视法估计较少用科学仪器检测。粗糙度由:磨刷材料磨料粒度磨板时的功率等共同决定。五、无尘房的控制a.温度过高干膜容易融边而且干膜溶剂挥发影响贴膜效果。b.菲林尺寸稳定性会受温度的影响。*温度对黄菲林影响:(10-20)*10-6/0C例如长度为24”的菲林温度升高10C长度约增加24*1000*(10~20)*10-6=0.24~0.48mil/0C1.黄菲林尺寸稳定性受湿度的影响湿度对黄菲林影响:(15~25)*10-6/%RH例如:长度为24”菲林相对湿度增加1%RH长度约增加:24*1000*(15-25)*10-6=0.36-0.6Mil/%RH2.干膜储存需要控制一定的湿度尘粒含量通常是指1ft3的空气中含有0.5µm以上尘埃个数做为表达单位如100个以下称class100(现公司尘量为class1万表示0.5µm以上尘埃个数不超过10000个或者5.0以上尘埃个数不超过70个)。[测量工具:测尘仪]干膜未覆制的黄菲林存放以及及半存放品需于黄光下存放贴膜曝光显影黄菲林覆制过程也要在黄光条件下进行。预热a.必须遵行铜面大膜面小的原则。b.更换胶辘应留意发热管的安装避免温度不均匀。c.安装干膜要注意上下对齐。温度:温度太高干膜图像变脆耐电镀力差温度太低干膜未能完全软化流动而与铜面粘附牢固结合力不好干膜甩膜渗镀。温度测定:测温仪。压力:贴膜压力太大贴膜容易起皱干膜盖孔容易破