一种扫描磁探针显微镜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106093476A(43)申请公布日2016.11.09(21)申请号201610425247.7(22)申请日2016.06.15(71)申请人北京原力辰超导技术有限公司地址100085北京市海淀区安宁庄西路15号院20号怡美商务楼116(72)发明人顾晨(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人李相雨(51)Int.Cl.G01Q60/50(2010.01)权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称一种扫描磁探针显微镜(57)摘要本发明涉及一种扫描磁探针显微镜，包括：低温杜瓦设置在基准平台的凹槽内，用于储存液氮以降低其内部的样品的温度；样品调平装置设置在低温杜瓦内，用于在样本放入时调节样品的高度以使该样本与基准平台保持平行状态；二维扫描平台设置在基准平台的上表面，用于调节磁探针装置的位置以使磁探针装置处于不同的检测位置；励磁磁体设置在样本调平装置的上方，且内部用于放置样本，用于为样本提供外部磁场；磁探针装置固定所述二维扫描平台上，并且悬于样品调平装置的正上方；计算模块与磁探针装置相连接，用于根据磁探针装置所检测出的磁场空间分布信息计算样品的电流密度。本发明可以无损连续检测超导带材的临界电流密度。CN106093476ACN106093476A权利要求书1/2页1.一种扫描磁探针显微镜，其特征在于，包括：二维扫描平台、基准平台、样品调平装置、励磁磁体、低温杜瓦、磁探针装置和计算模块；所述低温杜瓦设置在所述基准平台的凹槽内，用于储存液氮以降低其内部的样品的温度；所述样品调平装置设置在所述低温杜瓦内，用于在样本放入时调节样品的高度以使该样本与所述基准平台保持平行状态；所述二维扫描平台设置在所述基准平台的上表面，用于调节所述磁探针装置的位置以使所述磁探针装置处于不同的检测位置；所述励磁磁体设置在所述样本调平装置的上方，且内部用于放置样本，用于为所述样本提供外部磁场；所述磁探针装置固定所述二维扫描平台上，并且悬于所述样品调平装置的正上方，用于在施加外部磁场时检测样本上方的磁场空间分布信息；所述计算模块与所述磁探针装置相连接，用于根据磁探针装置所检测出的磁场空间分布信息计算所述样品的电流密度。2.根据权利要求1所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述二维扫描平台包括二维平台竖梁和二维平台横梁；所述二维平台竖梁固定在所述基准平台上；所述二维平台横梁的一端设置在所述二维平台竖梁的上表面，并且可沿着所述二维平台竖梁方向移动。3.根据权利要求2所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述二维扫描平台还包括辅助二维平台横梁，所述辅助二维平台横梁的一端设置在所述二维平台竖梁的上表面，并且可沿着所述二维平台竖梁方向移动。4.根据权利要求2或者3所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述磁探针装置包括至少一组探针单元，每组探针单元包括磁探针、探针支杆以及探针基座，所述磁探针通过所述探针支杆固定在所述探针基座上，所述探针基座设置在所述二维平台横梁或者辅助二维平台横梁的一侧，用于调节所述磁探针的检测位置。5.根据权利要求4所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述磁探针为霍尔元件、巨磁阻元件、磁通门器件、超导量子干涉仪中的一种。6.根据权利要求4所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述磁探针装置还包括至少一个弹性部件，所述弹性部件设置在所述探针支杆与所述探针基座之间，用于使所述探针与样品表面保持接触。7.根据权利要求2所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述样本调平装置包括样品台基座、多个刚性连杆以及与刚性连杆一一对应的调平螺栓、测距探头；所述多个刚性连杆的一端固定在所述样品台基座上，另一端通过相对应的调平螺栓固定在所述基准平台上；所述测距探头固定在二维平台横梁的一侧；所述测距探头测量与样品台基座之间的距离，然后通过调节多个调平螺栓以调节所述样品台基座的平整度。8.根据权利要求1所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述计算模块利用毕奥萨伐尔反卷积算法获取样品的电流密度。9.根据权利要求1所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，还包括传动装置，所述传动装置用于使超导长带与所述样品台基座保持平行状态且从所述磁探针与所述励磁磁体之2CN106093476A权利要求书2/2页间通过。10.根据权利要求9所述的扫描磁探针显微镜，其特征在于，所述传动装置包括第一校正轮和第二校正轮；所述第一校正轮与所述第二校正轮设置在所述基准平台上，并且所述第一校正轮与所述第二校正轮的最低点位于同一个水平面。3CN106093476A说明书1/6页一种扫描磁探针显微镜技术领域[0001]本发明涉及材料检测技术领域，尤其涉及一种扫描磁探针显微镜，可以广泛用于超导带材、磁性薄膜、导电薄膜等材料