湿法链式刻蚀槽进液结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108447805A(43)申请公布日2018.08.24(21)申请号201810274810.4(22)申请日2018.03.30(71)申请人无锡尚德太阳能电力有限公司地址214028江苏省无锡市新吴区新华路9号(72)发明人陈玉唐麟(74)专利代理机构无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104代理人曹祖良刘海(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称湿法链式刻蚀槽进液结构(57)摘要本发明涉及一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。本发明能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。CN108447805ACN108447805A权利要求书1/1页1.一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体（1）底部的进液盒（2），进液盒（2）设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒（2）朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔（3），进液盒（2）的底部设置进液口（6），进液盒（2）通过进液口（6）与进液管路（7）连接。2.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述进液盒（2）的内部设置有内衬板（4），内衬板（4）的底部与进液盒（2）的下部密封连接，内衬板（4）的顶端与进液盒（2）的上部之间具有出液间隙（5）。3.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述出液排孔（3）的上方设置挡板（9）。4.如权利要求3所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：所述挡板（9）向下方倾斜45°角设置。5.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：所述出液排孔（3）采用两排或多排。6.如权利要求5所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在相邻的出液排孔（3）之间设置有挡板。7.如权利要求6所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：所述挡板的宽度从上至下依次减小。8.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：所述进液盒（2）、内衬板（4）和挡板（9）采用PVDF材质。9.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述进液管路（7）上设置阀体（8）。2CN108447805A说明书1/3页湿法链式刻蚀槽进液结构技术领域[0001]本发明涉及一种用于太阳能光伏湿法链式刻蚀机，尤其是一种湿法链式刻蚀槽进液结构。背景技术[0002]太阳能电池制造经过扩散形成PN结后，需要通过刻蚀工序去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。目前，太阳能光伏湿法链式刻蚀机在使用中存在以下问题：现有的湿光链式刻蚀机的湿刻槽一般采用进液管的方式进行进液，如图1-1、图1-2所示，在湿刻槽槽体1a的底部连接多个进液管路2a，进液管路2a通过阀门3a连接多个进液管支路4a，进液管支路4a连接进液管5a的进口端，进液管5a设置于液刻槽槽体1a内侧底部，在进液管5a的下方排列有多个圆孔出液孔6a。上述的湿刻槽主要有以下缺陷：液体从进液管5a上的出液孔6a流出，管路易聚集气体从出液孔6a流出，硅片在刻蚀液中行走过程中，气泡浮出液面炸开会使硅片的正面粘液，造成硅片表面产生气泡印，造成硅片降级或形成不良片。发明内容[0003]本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种湿法链式刻蚀槽进液结构，能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。[0004]按照本发明提供的技术方案，所述湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。[0005]进一步地，在所述进液盒的内部设置有内衬板，内衬板的底部与进液盒的下部密封连接，内衬板的顶端与进液盒的上部之间具有出液间隙。[0006]进一步地，在所述出液排孔的上方设置挡板。[0007]进一步地，所述挡板向下方倾斜45°角设置。[0008]进一步地，所述出液排孔采用两排或多排。[0009]进一步地，在相邻的出液排孔之间设置有挡板。[0010]进一步地，所述挡板的宽度从上至下依次减小。[0011]进一步地，所述进液盒、内衬板和挡板采用PVDF材质。[0012]进一步地，在所述进液管路上设置阀体。[0013]本发明具有以下优点：（1）本发明能够保证进液过程液面稳定，使进液更加均匀