一种超导航磁气压稳压装置及气压稳压方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110109032A(43)申请公布日2019.08.09(21)申请号201910371859.6(22)申请日2019.05.06(71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术研究所地址200050上海市长宁区长宁路865号(72)发明人伍俊荣亮亮邱隆清董丙元张树林张朝祥裴易峰李兆宇谢晓明(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219代理人余明伟(51)Int.Cl.G01R33/035(2006.01)G01R33/00(2006.01)G05D16/20(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称一种超导航磁气压稳压装置及气压稳压方法(57)摘要本发明提供一种超导航磁气压稳压装置及方法，所述装置包括：设于容器杜瓦出气管道上的气压检测模块，用于检测容器杜瓦内的气压；电连接于气压检测模块的控制模块，用于比较检测气压值和预设气压值，并根据比较结果分别输出第一、第二、第三控制信号；设于容器杜瓦的出气管道上、且位于气压检测模块的上方，同时电连接于控制模块的气压调节模块，用于根据第一控制信号控制出气管道的开/关时间以减小容器杜瓦内的气压；或根据第二控制信号控制出气管道的开/关时间以维持容器杜瓦内的气压；或根据第三控制信号控制出气管道关闭以增加容器杜瓦内的气压，从而实现容器杜瓦内的气压稳定。通过本发明解决了现有因气压变化而引入测量误差的问题。CN110109032ACN110109032A权利要求书1/2页1.一种超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述气压稳压装置包括：气压检测模块，设于容器杜瓦的出气管道上，用于检测所述容器杜瓦内的气压；控制模块，电连接于所述气压检测模块，用于比较所述气压检测模块输出的检测气压值和预设气压值，并在所述检测气压值大于所述预设气压值时输出第一控制信号，在所述检测气压值等于所述预设气压值时输出第二控制信号，在所述检测气压值小于所述预设气压值时输出第三控制信号；气压调节模块，设于所述容器杜瓦的出气管道上、且位于所述气压检测模块的上方，同时电连接于所述控制模块，用于根据所述第一控制信号控制所述出气管道的开/关时间，以使所述容器杜瓦内气体的排放量大于挥发量，从而减小所述容器杜瓦内的气压；或根据所述第二控制信号控制所述出气管道的开/关时间，以使所述容器杜瓦内气体的排放量与挥发量相平衡，从而维持所述容器杜瓦内的气压；或根据所述第三控制信号控制所述出气管道关闭，以通过所述容器杜瓦内低温液体的挥发来增加所述容器杜瓦内的气压，从而实现所述容器杜瓦内的气压稳定；其中所述第一控制信号控制所述出气管道的打开时间大于所述第二控制信号控制所述出气管道的打开时间。2.根据权利要求1所述的超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述气压调节模块包括两个对称设置的同规格电磁阀，且一所述电磁阀相对于另一所述电磁阀上下翻转180度。3.根据权利要求2所述的超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述气压稳压装置还包括信号分配器，电连接于所述控制模块和两个所述电磁阀之间，用于将所述第一控制信号、所述第二控制信号及所述第三控制信号一分为二。4.根据权利要求1所述的超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述气压调节模块包括两个对称设置的同规格电磁阀，其中两个所述电磁阀均为双极性电磁阀；此时所述气压稳压装置还包括：信号分配器，电连接于所述控制模块，用于将所述第一控制信号、所述第二控制信号及所述第三控制信号一分为二；反相器，电连接于所述信号分配器和一所述电磁阀之间，用于将所述信号分配器输出的两路控制信号中的一路进行反相。5.根据权利要求2、3或4所述的超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述第一控制信号及所述第二控制信号均为正弦波信号，其中所述第一控制信号中正弦波的频率及幅值与所述第二控制信号中正弦波的频率及幅值相同，且所述第一控制信号中正弦波的个数大于所述第二控制信号中正弦波的个数。6.根据权利要求2、3或4所述的超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述第一控制信号及所述第二控制信号均为正弦波信号，其中所述第一控制信号中正弦波的频率及个数与所述第二控制信号中正弦波的频率及个数相同，且所述第一控制信号中正弦波的幅值大于所述第二控制信号中正弦波的幅值。7.根据权利要求1所述的超导航磁气压稳压装置，其特征在于，所述气压稳压装置还包括气体回收模块，连接于所述容器杜瓦的出气管道，用于回收所述容器杜瓦出气管道排放的气体。8.一种基于权利要求1至7任一项所述超导航磁气压稳压装置实现的气压稳压方法，其特征在于，所述气压稳压方法包括：2CN110109032A权利要求书2/2页检测容器杜瓦内的气压以获取检测气压值；比较所述检测气压值和预设气压值，并在所述检测气压值大于所述预设