消除DMD杂散光的投影成像装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114442333A(43)申请公布日2022.05.06(21)申请号202210077091.3(22)申请日2022.01.22(71)申请人山西汉威激光科技股份有限公司地址030006山西省太原市正阳街51号3号厂房(72)发明人陈海洋魏勇王虹兰旭阳胡元元(74)专利代理机构太原科卫专利事务所(普通合伙)14100专利代理师王二红(51)Int.Cl.G02B27/09(2006.01)G03B21/20(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称消除DMD杂散光的投影成像装置(57)摘要本发明涉及投影成像装置，具体为消除DMD杂散光的投影成像装置。本发明的目的在于提供一种适用于体积较小、波长较长的DMD且能消除DMD杂散光的投影成像装置，包括激光光源，激光光源发出面光源入射至中继系统，经过中继系统的光源平行入射微透镜阵列，经过微透镜阵列将面光源整形后变成点光源后再入射至TIR棱镜，然后经TIR棱镜后入射至DMD，经DMD反射后将图像投影至成像系统,从而使得DMD无衍射。本发明通过微透镜阵列缩小了DMD的入射光斑，从源头上杜绝了DMD闪耀光栅衍射，将衍射产生的杂散光提前屏蔽于DMD之外，提高了投影成像装置的成像质量和图像对比度，效果显著且简便。CN114442333ACN114442333A权利要求书1/1页1.消除DMD杂散光的投影成像装置，包括激光光源（1）、中继系统（2）、DMD、TIR棱镜（5）、成像系统（6），其特征在于，还包括微透镜阵列（3），激光光源（1）发出面光源入射至中继系统（2），经过中继系统（2）准直后平行入射微透镜阵列（3），经过微透镜阵列（3）将面光源整形后变成点光源后再入射至TIR棱镜（5），然后经TIR棱镜（5）后入射至DMD，经DMD反射后将图像投影至成像系统（6）。2.根据权利要求1所述的消除DMD杂散光的投影成像装置，其特征在于，微透镜阵列（3）为正方排列的微透镜阵列（3）。3.根据权利要求1所述的消除DMD杂散光的投影成像装置，其特征在于，微透镜阵列（3）为由多个其截面为圆形的球面透镜（7）组成。2CN114442333A说明书1/3页消除DMD杂散光的投影成像装置技术领域[0001]本发明涉及投影成像装置，具体为消除DMD杂散光的投影成像装置。背景技术[0002]投影成像装置，包括激光光源、中继系统、数字微镜阵列、TIR棱镜、包含投影透镜的成像系统，激光光源发出面光源入射至中继系统，经过中继系统准直后平行入射至TIR棱镜，然后经TIR棱镜后入射至数字微镜阵列，经数字微镜阵列反射后将图像投影至包含投影透镜的成像系统，其中数字微镜阵列(DigitalMicromirrorDevice，DMD)(为描述方便，下文中数字微镜阵列用DMD代替)是一种由许多微反射镜片组成的反射式空间光调制器，被广泛应用于数字光刻技术。DMD的微镜有三种状态：偏转角为0°的非工作态；沿着斜对角线偏转角为+12°的“on”态，经过微镜片的反射光线全部进入投影系统而呈现亮态；沿着斜对角线偏转角为‑12°的“off”态，反射光线偏离投影系统，被吸收装置吸收而呈现暗态，因而得到不同灰度的图像。DMD的微镜片间隔排列时就会像光栅一样发生栅格衍射、产生杂散光且微镜中心还有个开孔，开口率(透光区域)小于100％，这严重影响着投影成像装置的成像对比度。现有技术通过设计各种参量来限制位于DMD后面的投影透镜的分辨率(如调整数值孔径)从而滤掉高频衍射成分进而优化投影成像装置的成像对比度。然而，在应用过程中，很多企业对DMD提出了缩小体积以及增加波长的设计要求，但这样的结构设计会使得DMD的杂散光现象更加严重，原来的通过调整DMD后面的投影透镜的分辨率来优化投影成像装置的成像对比度的方法已经不能满足其成像对比度的要求，故现阶段急需设计一种适用于体积较小、波长较长的DMD且能消除DMD杂散光的投影成像装置。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种适用于体积较小、波长较长的DMD且能消除DMD杂散光的投影成像装置。[0004]本发明是采用如下技术方案实现的：消除DMD杂散光的投影成像装置，包括激光光源、中继系统、微透镜阵列、DMD、TIR棱镜、成像系统，激光光源发出面光源入射至中继系统，经过中继系统准直后平行入射至微透镜阵列，经过微透镜阵列将面光源整形后变成点光源后再入射至TIR棱镜，然后经TIR棱镜后入射至DMD，经DMD反射后将图像投影至成像系统,从而使得DMD无衍射。[0005]原理说明步骤如下：1)现根据DMD结构及其工作原理将DMD等效为二维闪耀光栅的结构模型，闪耀角为工作态偏转角θc＝±12°，光栅常数d对应DMD的像素周期，即DMD