用于光学相干断层摄影的柔性波导.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104081235104081235A(43)申请公布日2014.10.01(21)申请号201380007875.8代理人宋超(22)申请日2013.02.07(51)Int.Cl.(30)优先权数据G02B6/13(2006.01)61/596,0852012.02.07USG01B9/02(2006.01)G02B6/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.08.04(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2013/0523872013.02.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/117621EN2013.08.15(71)申请人梅德路米克斯有限公司地址西班牙马德里(72)发明人J·L·路比古文奥E·马伽罗巴尔巴斯(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038权权利要求书2页利要求书2页说明书7页说明书7页附图10页附图10页(54)发明名称用于光学相干断层摄影的柔性波导(57)摘要提供了用于对样品进行深度分辨成像的系统和方法。用于对样品进行深度分辨成像的系统包括：基本柔性材料的衬底，设置于所述衬底上的多个波导，设置于所述多个波导远端的光学元件，以及一个或多个干涉仪。通过柔性衬底上的光学元件和多个波导，在光向一个或多个干涉仪传播的路径上，从样品收集光。干涉仪被配置成组合基准光与所述多个波导的至少一部分接收的光以分辨来自所述样品一个或多个深度的贡献。该系统还包括耦合于所述多个波导和所述一个或多个干涉仪之间的光引导元件。CN104081235ACN1048235ACN104081235A权利要求书1/2页1.一种用于对样品进行深度分辨成像的系统，包括：基本柔性材料的衬底；设置于所述衬底上的多个波导；设置于所述多个波导的远端的光学元件；一个或多个干涉仪，其被配置成组合基准光与由所述多个波导的至少一部分接收的光以分辨来自所述样品的给定深度的贡献；以及耦合于所述多个波导和所述一个或多个干涉仪之间的光引导元件。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底为聚合物。3.根据权利要求2所述的系统，其中所述聚合物为PDMS。4.根据权利要求2所述的系统，其中所述聚合物为聚对二甲苯。5.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底为柔性半导体。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个波导由硅、砷化镓、磷化铟和聚合物中的至少一种构成。7.根据权利要求1所述的系统，还包括光复用器，其被配置成将来自所述光引导元件的光的路径切换到所述多个波导中的一个或多个。8.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底被配置成卷绕成基本圆柱形形状。9.根据权利要求8所述的系统，其中所述衬底设置于基本圆柱形外壳之内。10.根据权利要求1所述的系统，其中所述光学元件包括一个或多个反射镜。11.根据权利要求1所述的系统，其中所述光学元件包括一个或多个透镜。12.根据权利要求11所述的系统，其中所述一个或多个透镜中的至少一个是梯度折射率透镜。13.根据权利要求1所述的系统，其中所述深度分辨成像包括光学相干断层摄影(OCT)。14.根据权利要求1所述的系统，其中所述光引导元件是光纤。15.一种用于对样品进行深度分辨成像的系统，包括：基本柔性材料的衬底；设置于所述衬底上的多个波导；设置于所述多个波导的远端的光学元件；一个或多个干涉仪，其被配置成组合基准光与由所述多个波导的至少一部分接收的光以分辨来自所述样品的多个深度的贡献；以及耦合于所述多个波导和所述一个或多个干涉仪之间的光引导元件。16.根据权利要求15所述的系统，还包括光复用器，其被配置成将来自所述光引导元件的光的路径切换到所述多个波导中的一个或多个。17.根据权利要求15所述的系统，其中所述衬底被配置成卷绕成基本圆柱形形状。18.根据权利要求17所述的系统，其中所述衬底设置于基本圆柱形外壳之内。19.根据权利要求15所述的系统，其中所述深度分辨成像包括光学相干断层摄影(OCT)。20.一种制造光学相干断层摄影系统的方法，包括：将半导体材料层结合到柔性材料层；2CN104081235A权利要求书2/2页将所述半导体材料层减薄到小于10微米的厚度；对所述半导体材料层进行构图以形成结合到所述柔性材料层的多个波导；弯折结合了所述多个波导的所述柔性材料层；以及将弯折的柔性材料上的所述多个波导耦合到用于执行光学相干断层摄影的一个或多个干涉仪。21.一种制造光学相干断层摄影系统的方法，包括：对SOI晶片的器件层中的半导体材料层构图以形成多个波导，其中所述SOI晶片包括：器件层，掩埋氧化物层，以及基板层；在所述器件层中形成的所述多个波导上方沉积第一柔性材料层；蚀刻所述SOI晶片的所述