防潮应变片及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110873616A(43)申请公布日2020.03.10(21)申请号201910815121.4(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31(22)申请日2019.08.30100代理人陈亮(66)本国优先权数据201811013205.82018.08.31CN(51)Int.Cl.G01L1/22(2006.01)(71)申请人梅特勒-托利多(常州)精密仪器有G01L9/04(2006.01)限公司地址213022江苏省常州市新北区华山中路5号申请人梅特勒-托利多(常州)测量技术有限公司梅特勒-托利多国际贸易（上海）有限公司(72)发明人朱向群石志国莫国影许磊埃默里·吉恩-克里斯多夫权利要求书4页说明书9页附图7页(54)发明名称防潮应变片及其制备方法(57)摘要本发明提供一种防潮应变片(12，21，31，41，25，35，45)和防潮应变片(12，21，31，41，25，35，45)的制备方法，包括以下步骤：提供聚合物膜箔材(15)；通过用沉积工艺在所述聚合物膜箔(15)的表面上形成湿气阻挡涂层(17)来生产湿气隔绝聚合物膜(14，34，44)；以及将所述湿气隔绝聚合物膜(14，34，44)施加到所述应变片(12，21，31，41，25，35，45)上。本发明防潮应变片的制备方法将湿气隔绝涂层施加到聚合物膜上、随后将所产生的湿气隔绝聚合物膜放置在应变片上的本发明方法更高效地利用了气相沉积室，从而产生显著的成本节省。CN110873616ACN110873616A权利要求书1/4页1.一种防潮应变片，所述应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)包括：一基层(20)，由聚合物基底箔材制成；一电阻条层，位于金属电阻箔材上，所述电阻条(22,42)呈曲折结构形状并且具有用于接触所述电阻条(22,42)的电极焊盘(13，23，43)；其中，所述电阻条层与所述基层(20)层压在一起，且通过化学蚀刻方法在所述层压箔材上生产应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)；其特征在于，通过用沉积工艺在基层(20)的所有侧面上形成湿气阻挡涂层(17)，使得所述基层(20)由所述湿气阻挡涂层(17)包封；和/或其特征在于，所述应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)还包括：一覆盖层(15)，由聚合物膜箔材制成；一湿气阻挡涂层(17)，通过用沉积工艺在所述覆盖层(15)的至少一个侧面上形成所述湿气阻挡涂层(17)，其中，在所述电阻条层的表面上覆盖有涂覆的覆盖层(14，34，44)，用于覆盖住至少部分的应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)。2.如权利要求1所述的防潮应变片，其特征在于，所述应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)的未被所述涂覆的覆盖层(14，34，44)覆盖的表面上用来自所述电阻条层的附加金属材料(48)覆盖；其中，在所述附加金属材料(48)与所述电阻条(22，42)或所述电极焊盘(13，23，43)之间不存在导电连接。3.如权利要求1所述的防潮应变片，其特征在于，所述涂覆的覆盖层(14，34，44)覆盖整个所述应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)，并且其中，一开口(47)穿过所述湿气隔绝聚合物膜(14，34，44)通向所述应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)的所述电极焊盘(13，23)。4.如权利要求1-3任意一项所述的防潮应变片，其特征在于，所述湿气阻挡涂层(17)沉积在所述覆盖层(15)的顶部或底部，或所述聚合物膜箔(15)的所有侧部，使得所述聚合物膜箔(15)被所述湿气阻挡涂层(17)包封。5.如权利要求1-4任意一项所述的防潮应变片，其特征在于，所述湿气阻挡涂层(17)的厚度不大于200纳米。6.一种称重传感器，具有一应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35)，所述应变片通过粘性粘结剂(38)设置在称重传感器本体(1)上或在要进行应变测量的任何物体上，其特征在于，所述应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35)为权利要求1-5任意一项所述的应变片。7.一种防潮应变片(12，21A，21B，25A，25B，31，35，41，45)的制备方法，所述方法包括以下步骤：-提供聚合物基底箔材(20)，-提供金属电阻箔材，所述金属电阻箔材具有呈曲折结构形状的电阻条(22，42)并且具有用于接触所述电阻条(22，42)的电极焊盘(13，23，43)，-将所述金属电阻箔材与至少一个聚合物基底箔材(20)层压在