一种支持SMD的红外热电堆传感器.pdf
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一种支持SMD的红外热电堆传感器.pdf
本发明涉及传感器领域,具体的说是一种支持SMD的红外热电堆传感器,包括安装板,安装板的上端两侧均开设有第一滑槽,第一滑槽的内部均安装有夹持机构,夹持机构之间的部分安装板上端固定连接有第二导电板,第二导电板的上端抵触连接有固定框,固定框的内部固定连接有传感器主体,安装板的上端两侧均固定连接有侧板,侧板均位于同侧第一滑槽远离安装板中部的一侧。本发明通过在安装板上设置了两个夹持机构,安装时只需将安装板焊接在电路板上,安装传感器主体时,可利用两个夹持机构的压缩弹簧将同侧夹板抵在安装有传感器主体的固定框上,将固定框
浅谈MEMS热电堆红外传感器.pdf
浅谈热电堆红外传感器MEMS1.引言1.1背景介绍MEMS热电堆红外传感器利用热电效应将红外辐射转换成电信号,通过微型热电堆的设计和优化,实现了对红外辐射的高灵敏度检测。相比于传统的红外传感器,MEMS热电堆红外传感器具有更高的信噪比、更快的响应速度以及更低的功耗,能够实现更精准和稳定的红外信号检测。MEMS热电堆红外传感器在军事侦察、安防监控、医疗诊断等领域有着重要的应用价值。未来随着MEMS技术的不断突破和红外成像技术的发展,MEMS热电堆红外传感器将进一步提升其性能并开拓更广阔的应用领域。1.2研究
一种热电堆传感器及其红外温度计.pdf
本发明提供一种热电堆传感器及其红外温度计,其中,红外温度计包括外壳以及安装于外壳的热电堆传感器。热电堆传感器包括基座、管帽、热电堆探测器芯片、热电堆探测器芯片和管帽均安装于基座的顶面;热电堆探测器芯片收容在管帽与基座围合形成的空间内。热电堆探测器芯片包括硅框架、设于硅框架上的热电堆。热电堆包括冷端区以及热端区,冷端区和热端区采用同种材料和相同的工艺制备而成;冷端区到硅框架的距离与热端区到硅框架的距离相同。冷端区设有冷端反射层,热端区设有热端反射层,且冷端反射层与热端反射层呈180°旋转对称设置。本发明的热
一种红外热电堆传感装置.pdf
本发明提供一种红外热电堆传感装置,其包括基于基底层形成的热电堆传感器,所述热电堆传感器包括吸收区,所述基底层上形成有空腔,所述吸收区悬置于所述基底层的空腔之上,所述吸收区包括层叠的第一金属层、介质层和第二金属层,所述第一金属层相较于第二金属层更靠近所述基底层的空腔,所述吸收区的介质层位于第一金属层和第二金属层之间,所述吸收区的第二金属层被图形化以形成预定图形。这样,通过将金属层制作成预定图形来增强红外吸收率,调整特定波长吸收率,从而提高红外热电堆传感装置的性能。
MEMS热电堆红外传感器及制备方法.pdf
本发明提供一种MEMS热电堆红外传感器及制备方法,其中,位于上层的第二半导体层具有贯穿第二半导体层的第一刻蚀窗口,红外吸收层具有贯穿红外吸收层的第二刻蚀窗口,且位于冷结端的第一半导体层及第二半导体层的相对两面均与绝缘介质层相接触,位于热结端的第一半导体层与第二半导体层之间具有第一空腔,位于热结端的第二半导体层与红外吸收层之间具有第二空腔,且第一刻蚀窗口、第一空腔、第二刻蚀窗口及第二空腔相贯通。本发明仅保留冷结端的绝缘介质层,可减少导热横截面积,降低热结热量损耗,有效提高传感器的灵敏度,且在形成红外吸收层时