接触用于辊到辊薄膜沉积的柔性网片基材单侧的基材传送机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103119198A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103119198103119198A(43)申请公布日2013.05.22(21)申请号201180035854.8代理人李连涛李进(22)申请日2011.07.22(51)Int.Cl.C23C16/448(2006.01)(30)优先权数据61/3669272010.07.23USC23C16/44(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2013.01.22(86)PCT申请的申请数据PCT/US2011/0450492011.07.22(87)PCT申请的公布数据WO2012/012744EN2012.01.26(71)申请人莲花应用技术有限责任公司地址美国俄勒冈州(72)发明人E.R.迪基(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001权权利要求书2页利要求书2页说明书7页说明书7页附图4页附图4页(54)发明名称接触用于辊到辊薄膜沉积的柔性网片基材单侧的基材传送机构(57)摘要用于在柔性基材(106、206、306、406)上沉积薄膜的系统(100、200、300、400)和方法，包括沿着螺旋形传送路径，在分隔的第一和第二前体区域(110、112、210、212、310、312、410、412)之间，用基材传送机构(166、168、170、266、270、274、276、366、370、466、470)来回引导柔性基材，使得基材传送经过第一和第二前体区域多次并且每次经过中间隔离区域(116、216、316、416)，而不与基材的外表面(182、382)机械接触，由此防止外表面上沉积的薄膜机械损坏，这样可以改善薄膜的阻隔层性能。CN103119198ACN10398ACN103119198A权利要求书1/2页1.用于在柔性基材上沉积薄膜的系统，包括：第一前体区域，当使用系统时在其中引入第一前体气体；第二前体区域，当使用系统时在其中引入第二前体气体；第一和第二前体区域之间插入的隔离区域，当使用系统时在其中引入惰性气体；和基材传送机构，用于在第一和第二前体区域之间沿着螺旋形传送路径将柔性基材来回往复传送多次以及每次通过所述隔离区域，包括：沿着第一前体区域间隔开的多个第一转动导杆，沿着第二前体区域间隔开的多个第二转动导杆，设置第一和第二转动导杆用于将所述柔性基材导入螺旋形构造中，以及邻近最内部转动导杆和设置成用于在螺旋形传送路径内部卷绕所述柔性基材的卷取轴，以由此防止所述柔性基材的外表面与基材传送机构机械接触以及破坏所述柔性基材外表面上形成的所述薄膜。2.权利要求1的系统，进一步包括接近于螺旋形传送路径的用于在第一前体区域、第二前体区域和隔离区域的至少一个内产生气体自由基物质的自由基产生器，由此促进所述柔性基材暴露于所述气体自由基物质。3.权利要求1的系统，进一步包括第三前体区域，当使用系统时在其中引入第三前体气体，该第三前体区域插入第一和第二前体区域之间，和其中所述隔离区域包括在第一和第三前体区域之间插入的第一隔离区域，和在第二和第三前体区域之间插入的第二隔离区域，其中至少一部分螺旋形传送路径延伸进入第三前体区域。4.权利要求3的系统，进一步包括第一和第二隔离区域的每一个内的自由基产生器。5.权利要求2或4任一项的系统，其中所述自由基产生器包括等离子体产生器。6.权利要求2、4或5任一项的系统，进一步包括活性自由基钝化装置。7.在前权利要求任一项的系统，进一步包括导向器，其具有与所述卷取轴连接的第一端部，设置成在所述螺旋形传送路径边缘处与所述柔性基材连接的相对端部，和沿着所述螺旋形传送路径围绕所述转动导杆卷绕的中间部分。8.权利要求7的系统，其中所述导向器由防止导向器上的ALD膜成核作用或者防止羟基形成或ALD前体在所述导向器上化学吸附的材料构成或涂布。9.权利要求7或8任一项的系统，其中所述导向器由选自含氟材料、含硅氧烷材料、疏水性材料及其组合的材料构成或涂布。10.在前权利要求任一项的系统，其中所述柔性基材具有大于200mm的宽度和低于约25微米的厚度。11.权利要求10的系统，其中所述柔性基材具有约1米至约4米的宽度。12.在前权利要求任一项的系统，其中各第一和第二转动导杆包括辊。13.在前权利要求任一项的系统，其中所述基材传送机构进一步包括用于将所述柔性基材从位于所述螺旋形传送路径边缘的辊放出的放出轴。14.用于在柔性基材上沉积薄膜的方法，包括：将第一前体气体引入第一前体区域中；将第二前体气体引入与第一前体区域间隔开的第二前体区域中；将惰性气体引入第一和第二前体区域之间的隔离区域中；和2CN103119198A权利要求书2/2页沿着由转动导杆行进划定的螺旋形传送路径引