一种激光刻蚀制绒工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103715305103715305A(43)申请公布日2014.04.09(21)申请号201310748064.5(22)申请日2013.12.31(71)申请人秦广飞地址274300山东省菏泽市单县经济开发区君子路北段(72)发明人秦广飞金保华燕飞汪文渊王鹏张建亮(74)专利代理机构济南泉城专利商标事务所37218代理人张贵宾(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/268(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书1页说明书1页附图1页附图1页(54)发明名称一种激光刻蚀制绒工艺(57)摘要本发明涉及晶硅太阳能电池的制绒领域，特别涉及一种激光刻蚀制绒工艺。一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源与铅垂线成固定夹角a，激光源围绕激光镭射机中间的支柱自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。本发明的有益效果是：该发明激光刻蚀制绒工艺，可以刻蚀出蜂窝状的圆锥体凹坑，该种类型的刻蚀图形可反射率降至6%左右。CN103715305ACN10375ACN103715305A权利要求书1/1页1.一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源(1)与铅垂线(3)成固定夹角a，激光源(1)围绕激光镭射机中间的支柱(2)自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。2CN103715305A说明书1/1页一种激光刻蚀制绒工艺[0001]技术领域[0002]本发明涉及晶硅太阳能电池的制绒领域，特别涉及一种激光刻蚀制绒工艺。背景技术[0003]硅片制成电池片时，由于硅片表面是光滑的，太阳光很大一部分会被反射回去，导致太阳能电池吸收光减少，转换效率低下，为了减少光的反射引入了制绒这一技术，国内主流制绒技术为湿法刻蚀技术，即利用酸、碱腐蚀技术，碱制绒利用碱对硅片的各向异性腐蚀原理，腐蚀成大小不一，规则的金字塔状，使其达到减少光的反射的作用，其反射率约为14%，酸制绒利用酸对硅片的各向同性腐蚀原理，腐蚀成规则大小不一的坑，使其达到减少光的反射的作用，由于坑不规则，导致减反射效果不如碱制绒，其反射率为24%左右。发明内容[0004]针对上述问题，本发明为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种降低反射率的激光刻蚀制绒工艺，大幅提高了太阳能电池转换效率。[0005]本发明是通过如下技术方案实现的：一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源与铅垂线成固定夹角a，激光源围绕激光镭射机中间的支柱自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。[0006]本发明的有益效果是：该发明激光刻蚀制绒工艺，可以刻蚀出蜂窝状的圆锥体凹坑，该种类型的刻蚀图形可反射率降至6%左右。附图说明[0007]下面结合附图对本发明作进一步的说明。[0008]附图1为本发明中激光镭射机工作示意图；附图2为使用本发明最终的刻蚀效果示意图；图中，1激光源，2支柱，3铅垂线。具体实施方式[0009]附图为本发明的一种具体实施例。该发明一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源1与铅垂线3成固定夹角a，激光源1围绕激光镭射机中间的支柱2自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面进行刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。通过此工艺方法，使太阳能电池堆太阳光的反射率降至6%左右，大幅提高的电池的转化效率。3CN103715305A说明书附图1/1页图1图24