气化器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103858212103858212A(43)申请公布日2014.06.11(21)申请号201280047608.9代理人肖日松李婷(22)申请日2012.07.24(51)Int.Cl.(30)优先权数据H01L21/205(2006.01)2011-2168852011.09.30JPC23C16/448(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.03.28(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2012/0047022012.07.24(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/046517JA2013.04.04(71)申请人株式会社富士金地址日本大阪府申请人国立大学法人东北大学(72)发明人大见忠弘白井泰雪永濑正明山下哲日高敦志土肥亮介西野功二池田信一平尾圭志(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001权权利要求书1页利要求书1页说明书5页说明书5页附图10页附图10页(54)发明名称气化器(57)摘要本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。CN103858212ACN103852ACN103858212A权利要求书1/1页1.一种气化器，其特征在于，具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热收容在该腔内的液体材料；隔壁构造体，其将收容在该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部，其容许利用所述隔壁构造体划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。2.根据权利要求1所述的气化器，其特征在于，所述液体流通部为在所述隔壁构造体的下端形成的切口部。3.根据权利要求1所述的气化器，其特征在于，所述隔壁构造体是通过将多片隔壁片交叉状地连结而形成的。4.根据权利要求3所述的气化器，其特征在于，所述隔壁片包含第一隔壁片和第二隔壁片，所述第一隔壁片具有从上端向下方延伸的第一狭缝，通过在该第一狭缝插入所述第二隔壁片来与该第二隔壁片连结。5.根据权利要求3所述的气化器，其特征在于，所述隔壁片包含第一隔壁片和第二隔壁片，所述第二隔壁片具有从下端向上方延伸的第二狭缝，通过在该第二狭缝插入所述第一隔壁片来与该第一隔壁片连结。6.根据权利要求3所述的气化器，其特征在于，所述隔壁片包含第一隔壁片和第二隔壁片，所述第一隔壁片具有从上端向下方延伸的第一狭缝，所述第二隔壁片具有从下端向上方延伸的第二狭缝，通过在该第一狭缝的下端插入所述第二狭缝来将所述第一片与所述第二片连结。2CN103858212A说明书1/5页气化器技术领域[0001]本发明涉及气化器，具体而言，主要涉及用于使液体有机金属材料气化的气化器。背景技术[0002]一直以来，在化合物半导体、ITO膜等的成膜工序中，使用有机金属气相生长法(MOCVD：MetalOrganicChemicalVaporDeposition)。而且，在有机金属气相生长法中，使用通过载体气体使液体有机金属材料鼓泡并成为气体的所谓鼓泡法的气化器是众所周知的(专利文献1、2等)。[0003]然而，在使用鼓泡法的气化器中，存在鼓泡流量、液面水平、鼓泡的气泡直径、液体温度等各种参数的波动导致在气化气体的供给浓度中产生波动的问题。[0004]因此，提案有如下液体材料气化供给系统，其在不使用载体气体的情况下，在气化器内加热原料气体并使其气化，利用对应高温的压力调整式流量控制装置对气化的原料气体本身进行流量控制并供给至反应容器(专利文献3)。通过使用该液体材料气化供给系统来进行有机金属气体的流量控制，能够在不受在鼓泡法中成为问题的鼓泡流量等的影响的情况下控制流量。[0005]现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002－88477号公报；专利文献2：日本特开2010－284628号公报；专利文献3：日本特开2009－252760号公报。发明内容[0006]发明要解决的问题然而，在上述液体材料气化供给系统中，虽然以受控的定时间歇地对气化器内供给为液体材料的有机金属材料，但供给液体材料之后的气化器内的压力的举动在每次供给液体材料时不同，是不稳定的。[0007]因此，本发明的主要目的在于提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。[0008]用于解决问题的方案为了实现上述目的，本发明所涉及的气化器的特征在于具备：腔，其具备流