一种电源短路保护报警电路.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106655080A(43)申请公布日2017.05.10(21)申请号201510741513.2(22)申请日2015.11.04(71)申请人北京中科信电子装备有限公司地址101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号(72)发明人马少志(51)Int.Cl.H02H3/08(2006.01)H02H3/04(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种电源短路保护报警电路(57)摘要本发明公开了一种电源短路保护报警电路，属于半导体制造领域。电源短路保护报警电路包括：1、电源输出电路；2、电源短路自动断开/闭合电路；3、电源信号转换电路；4、报警电路。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号，因此，当电源发生短路时，电流瞬时增大，电源电流输出端口的输出电压也突然迅速升高。当监控端口的电压升高到一定数值时，即可认为产生了短路。电源信号转换电路通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号，电源短路自动断开/闭合电路号通过继电器动作断开电路，同时，报警电路采集电平信号触发蜂鸣器报警。排除故障后，电路自动恢复。CN106655080ACN106655080A权利要求书1/1页1.一种电源短路保护报警电路，主要包括：电源输出电路(1)、电源短路自动断开/闭合电路(2)、电源信号转换电路(3)、报警电路(4)。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号，因此，当电源输出电路(1)发生短路时，电流瞬时增大，电源电流输出端口的输出电压也突然迅速升高。当监控端口的电压升高到一定数值时，即可认为产生了短路。电源信号转换电路(3)通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号，电源短路自动断开/闭合电路(2)通过继电器动作断开电路，同时，报警电路(4)采集电平信号触发蜂鸣器报警。排除故障后，电路自动恢复。2.如权利要求1所述的一种电源短路保护报警电路，其特征在于，电源短路的产生是通过电源的电流瞬时增大检测得到的。当电源发生短路时，电源电压突变瞬间降低，由于电源输出功率不会瞬时变化，故此过程中会造成电流突变增大。通过对电源电流监控输出端口的电压值与预设值相比较，当超过预设值时即可认为发生了电源短路。3.如权利要求1所述的一种电源短路保护报警电路，其特征在于，该电路可用于检测直流可调的电压源的短路信号，根据不同的电压等级选择相应的硬件电路。4.如权利要求1所述的一种电源短路保护报警电路，其特征在于，该电路不仅有电路保护报警电路的功能，还可以当电路发生短路时，能自动断开，对电路的保护有进一步的完善。2CN106655080A说明书1/2页一种电源短路保护报警电路技术领域[0001]本发明涉及离子注入机电源短路保护及报警功能，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。背景技术[0002]离子注入机是半导体器件制造中重要的掺杂设备，该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片，从而改变晶片传导率。但是，由于离子注入机结构和电气线路非常复杂，以及大量电源的使用，短路现象多次发生。短路首先会造成电源的损坏，进而影响束流的稳定性，产品的合格率。严重时可能造成设备损坏。为提高设备的稳定性及产品合格率，对电源短路保护报警电路的应用极为重要。[0003]本发明提供了一种电源短路保护报警电路，该电路实现方便，功能齐全，实践表明该电路对电源短路保护效果良好。发明内容[0004]本发明涉及一种电源短路保护报警电路。该发明应用于离子注入机，该电路适用于离子注入机中所有直流电源。[0005]本发明通过以下技术方案实现：[0006]电源短路保护报警电路基本框图如图1所示，它包括四个主要功能单元：电源输出电路(1)，电源短路自动断开/闭合电路(2)，电源信号转换电路(3)和报警电路(4)。各功能单元的实现电路及作用如下：[0007]电源输出电路：各型号电源输出的直流可调电压，以及各电源电流监控输出端口0～10V的反馈电压信号。[0008]电源短路自动断开/闭合电路：当电源发生短路时，电源自动断开，排除故障后能自动恢复。该电路采用继电器来完成，控制继电器工作的信号为电源信号转换电路(3)的触发电平。[0009]电源信号转换电路：运算放大器的同相输入端为电源电流监控输出端口0～10V的反馈电压信号，反相输入端为预设电压，该电路通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号。[0010]报警电路：报警采集信号即为电源信号转换电路(3)的触发电平，当发生短路时，该电路使发光二极管亮，蜂鸣器发音报警。[0011]将四个单元模块组合得到总的电路如图2所示，该电路的元器件通过电源的输出电压/电流值进行选型。[0