多层式屏蔽.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109252136A(43)申请公布日2019.01.22(21)申请号201810752651.4(22)申请日2018.07.10(30)优先权数据1061233432017.07.12TW(71)申请人林义溢地址中国台湾新竹县竹北市胜利七街二段152号10楼(72)发明人林义溢(74)专利代理机构北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369代理人史霞(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称多层式屏蔽(57)摘要本发明的多层式屏蔽包括一金属框架、至少一第一金属薄片及至少一第二薄片。第一金属薄片固设于该金属框架内，第一金属薄片包括多个第一开口区域。第二薄片重叠于该第一金属薄片，并固设于该金属框架内。该第二薄片包括多个第二开口区域及至少一蜂窝结构，且每一个第二开口区域经由多个第二图像开口所组成。其中，当第二薄片重叠于该第一金属薄片时，第二开口区域重叠于第一开口区域，而蜂窝结构的位置不重叠于第一开口区域。本发明的有益效果是该多层式屏蔽能让小间距的图像开口不易产生形变或断裂的改善，实现高画素的OLED面板的生产良率。CN109252136ACN109252136A权利要求书1/1页1.一种多层式屏蔽，其特征在于，包括：一金属框架；至少一第一金属薄片，该第一金属薄片固设于该金属框架内，该第一金属薄片包括多个第一开口区域；及至少一第二薄片，该第二薄片重叠于该第一金属薄片，第一金属薄片该第二薄片包括多个第二开口区域及至少一蜂窝结构，且每一个第二开口区域经由多个第二图像开口所组成；其中，当该第二薄片重叠于该第一金属薄片时，第二开口区域重叠于该第一开口区域，且该蜂窝结构的位置不重叠于该第一开口区域。2.如权利要求1所述的多层式屏蔽，其特征在于，该蜂窝结构为常规六边形蜂窝结构、单边内凹六边形蜂窝结构或对边内凹六边形蜂窝结构。3.如权利要求1所述的多层式屏蔽，其特征在于，第一金属薄片相邻的该第一开口区域与该第一开口区域之间包括至少一凸肋。4.如权利要求3所述的多层式屏蔽，其特征在于，该第一金属薄片凸肋的横截面呈「V」字形、「U」字形的态样。5.如权利要求1所述的多层式屏蔽，还包括至少一涂层，该涂层则涂布于该第二薄片的上表面。6.如权利要求5所述的多层式屏蔽，其特征在于，该涂层为可被磁吸的铁镍合金薄层。7.如权利要求1所述的多层式屏蔽，其特征在于，该第一金属薄片为INVAR合金，且该第一金属薄片的厚度小于25um。8.如权利要求1所述的多层式屏蔽，其特征在于，该第二薄片为INVAR合金或为线性热膨胀系数小于10ppm/℃的工程塑料薄膜，且该第二薄片的厚度小于10um。9.如权利要求8所述的多层式屏蔽，其特征在于，该工程塑料薄膜为聚酰亚胺(PI)。2CN109252136A说明书1/4页多层式屏蔽技术领域[0001]本发明提供一种多层式屏蔽，特别是指一种在OLED面板蒸镀制程中所使用的多层式屏蔽。背景技术[0002]请参阅图1，图1所绘示为金属屏蔽10的示意图。有机发光OLED(OrganicLight-EmittingDiode)面板被喻为次世代面板，其具有为自发光、广视角、高对比度、高反应速率、高彩饱和度等特性，故全球无不对OLED面板寄以厚望。目前生产OLED面板主要技术为真空蒸镀制程。此技术是将气化材料(例如为有机材料或金属材料)放置于可加热的坩锅内，并在高度真空的条件下，将坩锅升温加热使该气化材料升华，让该气化材料沉积于特定的基板8上，以形成一均匀薄膜。上述中，还须将有开孔(图像开口)的金属屏蔽10(MetalMask)放置在一基板(未绘示)下，以控制该气化材料分布。详细来说，该气化材料就只会沉积在没有被金属屏蔽10所盖住的部位，且在该基板上形成必要的图案。[0003]金属屏蔽10的组件包括多个金属薄片11与一金属框架12，金属薄片11具有多个开口区域13，且每一个开口区域13是经由多个图像开口130所组成。为防止重力对金属薄片11所产生的下垂变形量，须对金属薄片11施以平行张力，以形成表面平整，再固定于金属框架12。其中，金属薄片11是以电铸或化学蚀刻方式所制成。接着，利用张网设备将每一个金属薄片11的两端施以平行张力，以达到金属薄片11的表面平整后，并与金属框架12进行对准。之后，以雷射焊接方式将每一个金属薄片11固定于金属框架12，以完成整个金属屏蔽10。此过程即为业界所习知的张网制程，因为在OLED的真空蒸镀制程中，为达到所要求的生产精度规格，金属薄片11的上缘必须平整密贴于该基板的下缘。因此，张网制程的张力控制的是让金属薄片11的形成表面平整的