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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113466128A(43)申请公布日2021.10.01(21)申请号202110238612.4(22)申请日2021.03.04(30)优先权数据2020-0612972020.03.30JP(71)申请人日本碍子株式会社地址日本国爱知县(72)发明人寺拝贵史佐藤祥弘(74)专利代理机构北京旭知行专利代理事务所(普通合伙)11432代理人王轶郑雪娜(51)Int.Cl.G01N21/01(2006.01)G01N21/88(2006.01)权利要求书2页说明书14页附图7页(54)发明名称陶瓷制的圆柱状蜂窝结构体的检查方法及检查装置(57)摘要本发明提供一种圆柱状蜂窝结构体的检查方法,包括:将陶瓷制的圆柱状蜂窝结构体载放于旋转工作台的工序,该工序中,使第一底面为上侧,并以第一底面的重心与旋转工作台的旋转轴之间的距离为0.5mm以下的方式进行载放;向载放于旋转工作台的圆柱状蜂窝结构体的侧面照射波长为300~500nm的光的工序;将像素分辨率为1~25μm/pix的线阵传感器相机的景深调节为0.5~5mm,在所述光被照射于所述侧面的状态下,使圆柱状蜂窝结构体绕着所述旋转轴进行旋转,同时利用线阵传感器相机对来自所述侧面的反射光进行反复拍摄的工序;基于利用线阵传感器相机对所述反射光进行拍摄的工序的结果,生成整个所述侧面的检查图像;以及基于检查图像来判别所述侧面有无缺陷的工序。CN113466128ACN113466128A权利要求书1/2页1.一种检查方法,其是圆柱状蜂窝结构体的检查方法,所述检查方法的特征在于,包括以下工序:准备陶瓷制的圆柱状蜂窝结构体的工序,该圆柱状蜂窝结构体具有第一底面、第二底面及侧面;将圆柱状蜂窝结构体载放于旋转工作台的工序,该工序中,以使所述第一底面为上侧、且所述第一底面的重心与旋转工作台的旋转轴之间的距离为0.5mm以下的方式进行载放;向载放于旋转工作台的圆柱状蜂窝结构体的侧面照射波长为300~500nm的光的工序;将像素分辨率为1~25μm/pix的线阵传感器相机的景深调节为0.5~5mm,在所述光被照射于所述侧面的状态下,使圆柱状蜂窝结构体绕着所述旋转轴进行旋转,同时利用线阵传感器相机对来自所述侧面的反射光进行反复拍摄的工序;基于利用线阵传感器相机对所述反射光进行拍摄的工序的结果,生成整个所述侧面的检查图像的工序;以及基于检查图像来判别所述侧面有无缺陷的工序。2.根据权利要求1所述的检查方法,其特征在于,将线阵传感器相机的光圈值F设定为8~16的范围来进行利用线阵传感器相机对来自所述侧面的反射光进行反复拍摄的工序。3.根据权利要求1或2所述的检查方法,其特征在于,基于检查图像来判别所述侧面有无缺陷的工序包括:判别有无宽度为5~25μm的裂纹。4.根据权利要求1~3中的任一项所述的检查方法,其特征在于,旋转工作台能够沿xyz方向移动,将圆柱状蜂窝结构体载放于旋转工作台的工序包括以下工序:采用面阵相机来计量所述第一底面的重心的位置的工序;基于所计量出的所述第一底面的重心的位置,使旋转工作台的旋转轴向所述第一底面的重心的位置的正下方移动的工序;以及使旋转工作台相对于圆柱状蜂窝结构体进行相对上升,从所述第二底面侧将圆柱状蜂窝结构体抬起的工序。5.根据权利要求1~4中的任一项所述的检查方法,其特征在于,包括以下工序:在实施利用线阵传感器相机对来自所述侧面的反射光进行反复拍摄的工序中,采用位移计来连续地计量所述侧面中的任一位置的法线方向上的该位置与位移计之间的距离,并判定圆柱状蜂窝结构体旋转一周期间的该距离的变化量是否超过景深的工序;以及在超过景深的情况下,调整拍摄距离,使得以超过景深的状态拍摄到的所述侧面的部分的至少一部分进入景深的范围内,然后,使圆柱状蜂窝结构体再次绕着旋转轴进行旋转,同时利用线阵传感器相机至少对该部分进行拍摄的工序。6.根据权利要求5所述的检查方法,其特征在于,位移计对圆柱状蜂窝结构体的侧面的下半部分中的任一位置的法线方向上的该位置与位移计之间的距离进行计量。7.根据权利要求1~6中的任一项所述的检查方法,其特征在于,使圆柱状蜂窝结构体以100~1000mm/秒的平均圆周速度进行旋转,同时进行利用线阵传感器相机对来自所述侧面的反射光进行反复拍摄的工序。2CN113466128A权利要求书2/2页8.根据权利要求1~7中的任一项所述的检查方法,其特征在于,所述被照射光的圆柱状蜂窝结构体的侧面的照度为50万lx以上。9.根据权利要求1~8中的任一项所述的检查方法,其特征在于,向圆柱状蜂窝结构体的侧面照射的光通过长度方向沿与圆柱状蜂窝结构体的中心轴方向平行的方向延伸的线状照明进行照射。10.一种检查装置,其用于实施权