具有改进坩埚盖部的定向凝固炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101914805A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101914805A(43)申请公布日2010.12.15(21)申请号201010275428.9(22)申请日2010.09.07(71)申请人王楚雯地址100084北京市海淀区清华大学南零楼3-302号(72)发明人李园(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201代理人贾玉(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称具有改进坩埚盖部的定向凝固炉(57)摘要本发明公开了一种定向凝固炉，包括：上炉体；与上炉体相配合以形成炉体空间的下炉体；设置在炉体空间内并被构造成容纳给料的坩埚；用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料的至少一个加热器；用于保持所述坩埚的坩埚保持器；被构造成相对于所述坩埚纵向可移动以控制所述坩埚内的给料的定向凝固的隔热部件；连接至外部气源并竖直地贯穿所述隔热部件的通气管；以及坩埚盖部，所述坩埚盖部可拆卸地设置于所述通气管的底端，且其尺寸与所述坩埚顶端尺寸适配以盖在所述坩埚上方。根据本发明的定向凝固炉，在实现增加给料的同时能确保对炉腔不造成污染，从而保证了所生产晶锭质量的同时提高了生产效率、降低了成本。CN109485ACN101914805A权利要求书1/2页1.一种定向凝固炉，其特征在于，包括：上炉体；下炉体，所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动，以控制所述坩埚内的给料的定向凝固；通气管，所述通气管连接至外部气源并竖直地贯穿所述隔热部件；以及坩埚盖部，所述坩埚盖部可拆卸地设置于所述通气管的底端，且其尺寸与所述坩埚顶端尺寸适配以盖在所述坩埚上方。2.根据权利要求1所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部可纵向移动地设置于所述通气管的底端。3.根据权利要求2所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部与所述通气管之间通过套管进行连接，其中所述坩埚盖部被可拆卸地固定于所述套管底端，所述套管套在所述通气管的底端。4.根据权利要求2所述的定向凝固炉，其特征在于，所述通气管的底端外侧设置有第一凸缘，而所述套管顶端内壁形成有与所述第一凸缘搭接的第二凸缘。5.根据权利要求2所述的定向凝固炉，其特征在于，所述通气管的底端外侧设置有第一凸缘，而所述套管的顶端设置有弯折结构，所述弯折结构弹性地抵住所述通气管的外壁。6.根据权利要求3所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部通过紧固件设置于所述套管的底端。7.根据权利要求3所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部通过螺纹连接固定于所述通气管的底端。8.根据权利要求1所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部包括：连接部，所述连接部为圆筒状且位于其顶端的连接部，通过所述连接部将所述坩埚盖部设置于所述通气管的底端；以及喇叭状部，所述喇叭状部部位于所述连接部底端且中间设有与所述连接部对应的开口，且所述喇叭状的大口端尺寸不小于所述坩埚的开口端尺寸以覆盖整个坩埚开口端。9.根据权利要求1所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部包括：连接部，所述连接部为圆筒状且位于其顶端的连接部，通过所述连接部将所述坩埚盖部设置于所述通气管的底端；平板状部，所述平板状部位于所述连接部底端且中间设有与所述连接部对应的开口；以及悬垂部，所述悬垂部设置于平板状部边缘。10.根据权利要求1所述的定向凝固炉，其特征在于，所述坩埚盖部的内表面设置有热反射层，其中，所述热反射层由选自包括石墨、含硅化合物、耐2000℃金属、硼化物、碳化物、氮化物的组中的任一种或多种材料形成，其中2CN101914805A权利要求书2/2页所述含硅化合物包括碳化硅、氮化硅、硼化硅，所述耐2000℃金属包括钨、钼、钽、铌及其合金，所述硼化物包括碳化硼、氮化硼、硼化锆、硼化镧、硼化钛、硼化钽、硼化铬、硼化钨、硼化钼、硼化钒、硼化铌，所述碳化物包括碳化铬、碳化钽、碳化钒、碳化锆、碳化钨、碳化钼、碳化钛、碳化铌，所述氮化物包括氮化钛、氮化钨、氮化钼、氮化铬、氮化铌、氮化锆、氮化钽、氮化钒。11.根据权利要求10所述的定向凝固炉，其特征在于，所述热反射层的内表面的表面粗糙度小于25μm。12.根据权利要求10所述的定向凝固炉，其特征在于，所述热反射层通过气相沉积法形成于所述坩埚盖部的内表面。13.根据权利要求10所述的定向凝固炉，其特征在于，所述热反