硅粉真空压实装置及其方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102009176A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102009176A(43)申请公布日2011.04.13(21)申请号201010198191.9(22)申请日2010.06.10(71)申请人常州天合光能有限公司地址213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号(72)发明人袁为进黄强(74)专利代理机构常州市维益专利事务所32211代理人王凌霄(51)Int.Cl.B22F3/04(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称硅粉真空压实装置及其方法(57)摘要本发明涉及一种硅粉真空压实装置及其方法，该硅粉真空压实装置，包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀和抽真空阀，硅粉放置在可抽真空容器内。利用该装置进行压实的方法为：首先将硅粉装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀将可抽真空容器抽真空，抽真空后打开进气阀，硅粉经过真空及气体吹压得到压实。本发明提供的技术方案是在原有单晶炉的基础上增设的，与传统的机械直接接触式压实相比，该硅粉压实装置既可让硅粉得到充分利用，又避免了硅料的再污染，且该装置加工成本低、操作简单。CN102976ACN102009176A权利要求书1/1页1.一种硅粉真空压实装置，其特征是：包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀(4-2)和抽真空阀(4-3)，硅粉(8)放置在可抽真空容器内。2.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器包括外壳(1)及其上盖(4)，上盖(4)盖在外壳(1)上。3.根据权利要求2所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的上盖(4)和外壳(1)之间通过多个紧固压脚(6)彼此固定连接，上盖(4)和外壳(1)之间的密封面设置密封垫(7)。4.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的硅粉(8)放置在石英坩埚(3)内，石英坩埚(3)放置在可抽真空容器中。5.根据权利要求4所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器内设置基座(2)，石英坩埚(3)安放在基座(2)内。6.根据权利要求5所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的基座(2)有两个半环部件(2-1)组装而成，两个半环部件(2-1)之间通过紧固压脚(6)连接成一体，所述的石英坩埚(3)与基座(2)之间设置衬板(5)。7.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器的进气阀(4-2)的下方设置档风缓冲板(4-4)，挡板缓冲板(4-4)挂设在可抽真空容器的内壁上。8.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：在所述的可抽真空容器上设置监测可抽真空容器内部压力的负压阀(4-1)。9.一种使用权利要求1、2、3、4、5、6、7、8或9所述的装置的硅粉真空压实方法，其特征是：首先将硅粉(8)装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀(4-3)将可抽真空容器抽真空，抽真空后打开进气阀(4-2)，硅粉(8)经过真空及气体吹压得到压实。10.根据权利要求9所述的硅粉真空压实的方法，其特征是：整个抽真空时间控制在28～30分钟，在真空度达到28mmHg时将流量调至最小并保持4～5分钟，然后关闭抽真空阀(4-3)，迅速打开进气阀(4-2)。2CN102009176A说明书1/2页硅粉真空压实装置及其方法技术领域[0001]本发明属于硅材料处理利用技术领域，特别是一种硅粉真空压实装置及其方法。背景技术[0002]受益于光伏行业的快速发展，近年来太阳能级多晶硅材料的应用得到了迅猛发展。虽然几年来多晶硅的产量不断增加，但仍然赶不上多晶硅的需求，尤其是赶不上太阳能级多晶硅需求的增长速度，在全球范围内，太阳能级多晶硅的供需缺口越来越大，供不应求的状况愈演愈烈，这就要求我们不断发展新的方法或装置利用一切可以使用的硅原料，如硅粉。但对硅粉的利用需要我们在装炉前对其进行压实处理。行业内也有部分企业不经过压实直接装炉使用的，结果发现硅粉在抽真空阶段进入炉子真空管道，严重危害了炉子的使用性能。故大部分企业都在使用前对其优先压实，目前行业内对合格硅粉的压实通常采用机械压实，但这种方法的加工成本高，且由于加工环境及压实设备中金属器件的存在，给硅粉带来了二次污染，严重降低了硅粉的质量，并最终影响晶体质量。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是：设计一种新的硅粉压实方法或装置，使其既能让硅粉得到充分利用，又不降低硅粉压实后的质量。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅粉真空压实装置，包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀和抽真空阀，硅粉放置在可抽真空容器内。[0005]进一步地，可抽真空容器包括外壳及其上盖，上盖盖在外壳上。[0006]更进一步地，上盖和外壳之间通过多个紧固压脚