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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102011173A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102011173A(43)申请公布日2011.04.13(21)申请号201010277859.9(22)申请日2010.09.07(30)优先权数据2009-2069492009.09.08JP(71)申请人国立大学法人信州大学地址日本长野县申请人不二越机械工业株式会社(72)发明人干川圭吾宫川千宏中村太一(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)C30B29/20(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图5页(54)发明名称蓝宝石单晶生长设备(57)摘要一种蓝宝石单晶生长设备,其能够容易地提高影响生长炉中的温度分布的隔热件的形状精度和定位精度。隔热件被设置在生长炉中并且围绕筒状加热器,以形成热区域。隔热件由多个筒状部构成,其中,多个筒状部沿上下方向堆叠,由定位机构来限定多个筒状部的径向位置。筒状部由碳毡构成。CN10273ACCNN102011173102011176AA权利要求书1/2页1.一种蓝宝石单晶生长设备,其中,通过如下步骤来生长出蓝宝石单晶:在坩埚中放置籽晶和原料;将所述坩埚设置在位于生长炉中的筒状加热器中;以及由所述筒状加热器对所述坩埚进行加热,以使所述籽晶的一部分和所述原料熔化,然后使所述籽晶的所述部分和所述原料的熔化物逐渐结晶,其中,在所述生长炉中设置隔热件,所述隔热件围绕所述筒状加热器,以形成热区域,所述隔热件由多个筒状部构成,所述多个筒状部沿上下方向堆叠,并且由定位部件限定所述多个筒状部的径向位置,以及所述筒状部由碳毡构成。2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶生长设备,其特征在于,所述隔热件还具有框架部,所述框架部用于沿上下方向支撑所有筒状部或一部分筒状部的重量。3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶生长设备,其特征在于,在所述生长炉中产生上部的温度高于下部的温度的温度梯度,以进行用于使所述原料和所述籽晶的熔化物顺次结晶的定向凝固法,所述隔热件具有管状部分,所述管状部分至少围绕所述筒状加热器的外周面,所述管状部分的上部的径向厚度比所述管状部分的下部的径向厚度大,其中,所述管状部分的上部与所述生长炉的上部对应,而根据所述温度梯度,所述生长炉的上部的温度较高,以及所述管状部分的下部的径向厚度比所述管状部分的上部的径向厚度小,其中,所述管状部分的下部与所述生长炉的下部对应,而根据所述温度梯度,所述生长炉的下部的温度较低。4.根据权利要求2所述的蓝宝石单晶生长设备,其特征在于,在所述生长炉中产生上部的温度高于下部的温度的温度梯度,以进行用于使所述原料和所述籽晶的熔化物顺次结晶的定向凝固法,所述隔热件具有管状部分,所述管状部分至少围绕所述筒状加热器的外周面,所述管状部分的上部的径向厚度比所述管状部分的下部的径向厚度大,其中,所述管状部分的上部与所述生长炉的上部对应,而根据所述温度梯度,所述生长炉的上部的温度较高,以及所述管状部分的下部的径向厚度比所述管状部分的上部的径向厚度小,其中,所述管状部分的下部与所述生长炉的下部对应,而根据所述温度梯度,所述生长炉的下部的温度较低。5.根据权利要求2所述的蓝宝石单晶生长设备,其特征在于,所述框架部包括:环状部分,在所述环状部分上安装所述筒状部;和筒状部分,所述筒状部分支撑所述环状部分和所述筒状部的总重量,所述环状部分和所述筒状部分通过成型碳材料而形成。6.根据权利要求2所述的蓝宝石单晶生长设备,其特征在于,所述隔热件包括圆板构件,所述圆板构件被直接设置于最上面的筒状部上或经由所述框架部被设置于最上面的筒状部上,2CCNN102011173102011176AA权利要求书2/2页所述圆板构件由碳毡构成。7.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶生长设备,其特征在于,所述隔热件的所述管状部分的较厚的上部由沿径向堆叠的小直径的筒状部和大直径的筒状部构成,其中,所述管状部分的较厚的上部与所述生长炉的上部对应,以及所述隔热件的所述管状部分的较薄的下部由小直径的筒状部或大直径的筒状部构成,其中,所述管状部分的较薄的下部与所述生长炉的下部对应。3CCNN102011173102011176AA说明书1/8页蓝宝石单晶生长设备技术领域[0001]本发明涉及一种用于通过进行定向凝固法来生长蓝宝石单晶(sapphiresinglecrystal)的设备。背景技术[0002]蓝宝石已经被用于许多事物。近年来,使用蓝宝石衬底用来制造LED是很重要的。在该领域中,主要通过在蓝宝石衬底上外延生长过渡层和氮化镓膜来制造LED基板。[0003]因此,需要能够有效且稳定地生长蓝宝石的生长蓝宝石单晶用方法。[