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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102062529A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102062529A(43)申请公布日2011.05.18(21)申请号201010523699.1H01L31/18(2006.01)(22)申请日2010.10.29(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213200江苏省金坛市尧塘镇金武路18号(72)发明人孙铁囤荀建华刘志刚高玉山潘盛姚伟忠陈琼(74)专利代理机构常州市维益专利事务所32211代理人周祥生(51)Int.Cl.F27B9/02(2006.01)F27B9/06(2006.01)F27B9/26(2006.01)F27B9/30(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图6页(54)发明名称一种无网带硅电池片烧结炉(57)摘要一种无网带硅电池片烧结炉,包括进料台、隧道式烧结箱、出料台和硅片输送装置,在沿隧道式烧结箱的纵向依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区,在各温度之间均设有隔热板和气流隔热门,在预热排胶区、升温区和烧结区内设有加热灯管,在固定底板和活动板之间设有往复升降机构,在固定底板与滑动板之间设有往复平移机构,滑动板相对于固定底板依次完成上升、前移、下移和后移动作;硅片输送装置包括固定托架和移动托架,由于在各个区之间设置了隔热板和气流隔热门,能有效地分隔温区,使各温区内温度更接近烧结工艺要求,并使隧道绕结区和大气隔绝,既提高烧结效率,又减少烧结炉热量消耗,从而能使整个烧结炉的炉体长度缩短。CN102659ACCNN110206252902062538A权利要求书1/2页1.一种无网带硅电池片烧结炉,其特征是:所述无网带硅电池片烧结炉,它包括进料台(1)、隧道式烧结箱(2)、出料台(3)、硅片输送装置(4)和炉体架(5),沿隧道式烧结箱(2)的纵向依次设有预热排胶区(21)、升温区(22)、烧结区(23)和降温区(24)四个区域,其特征是:在预热排胶区(21)、升温区(22)、烧结区(23)和降温区(24)之间均设有隔热板(25),在预热排胶区(21)、升温区(22)和烧结区(23)内设有加热灯管(26);出料台(3)的结构与进料台(1)的结构相同,且两者对称设置,它们都包括固定底板(11、31),固定架(12、32),导向杆(13、33),导向套(14、34),活动板(15、35),滑轨(16、36)和滑动板(17、37),滑轨(16、36)分别固定在活动板(15、35)上,滑动板(17、37)分别套装在滑轨(16、36)上,活动板(15、35)分别通过导向杆(13、33)和导向套(14、34)的套装结构与固定底板(11、31)相连接,固定底板(11、31)都安装在炉体架(5)上;在固定底板(11、31)和活动板(15、35)之间设有往复升降机构,在固定底板(11、31)与滑动板(17、37)之间设有往复平移机构,往复升降机构带动活动板(15、35)相对于固定底板(11、31)周期性地完成上升和下降动作,往复平移机构带动滑动板(17、37)相对于活动板(15、35)周期性地完成前移和后移动作;硅片输送装置(4)包括固定托架(41)和移动托架(42),固定托架(41)的两端分别固定在进料台(1)和出料台(3)中的固定架(12、32)上,移动托架(42)的两端分别固定在进料台(1)和出料台(3)中的滑动板(17、37)上,且固定托架(41)位于两相邻移动托架(42)之间。2.根据权利要求1所述无网带硅电池片烧结炉,其特征是:在活动板(15)和固定底板(11)之间通过四根导向杆(13)与导向套(14)的套装结构可升降滑动地连接;在活动板(35)和固定底板(31)之间通过四根导向杆(33)与导向套(34)的套装结构可升降滑动地连接。3.根据权利要求1所述无网带硅电池片烧结炉,其特征是:固定托架(41)和移动托架(42)的结构相同,它们都包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414),托脚(413)固定在金属套(412)上,在金属套(412)上设有螺纹孔(416),金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。4.根据权利要求3所述无网带硅电池片烧结炉,其特征是:在石英玻璃管(411)上沿轴向方向等距离地开有限位孔(415);在金属套(412)上还设有开(417)。5.根据权利要求3所述无网带硅电池片烧结炉,其特征是:所述托脚(413)由钢丝制成,在钢丝表面涂有陶瓷涂层(418)。6.根据权利要求3所述无网带硅电池片烧结炉,其特征是:固定托架(41)的两端通过耳座(43)、固定架(12、32)分别安装在固定底板(11、31)上,两只托脚(413)对称地固定在金属套(412)上,且托脚