高温炉尾气处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102252330A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102252330A(43)申请公布日2011.11.23(21)申请号201010181279.X(22)申请日2010.05.21(71)申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司地址201203上海市张江路18号申请人武汉新芯集成电路制造有限公司(72)发明人姜再培张希山陶永钧汪少军(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237代理人屈蘅李时云(51)Int.Cl.F23G5/44(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称高温炉尾气处理装置(57)摘要本发明提供一种高温炉尾气处理装置，包括燃烧室，还包括残渣粉碎装置，所述残渣粉碎装置为中空网格框架，所述网格交汇点处设有凸起尖端，所述残渣粉碎装置安装于燃烧室内。本发明提供的高温炉尾气处理装置可使尾气残渣在掉落的时候被残渣粉碎装置上的凸起尖端打碎，尾气残渣不易结块，避免了大块的尾气残渣直接掉落堵塞尾气燃烧口及排水口，必须经常停机对尾气处理装置进行清理维护。采用本发明的高温炉尾气处理装置可将尾气处理装置的维护周期由每半天一次延长到每一月一次，从而大大延长了对尾气处理装置的停机维护周期，节约了维护成本，延长了设备正常运转的时间。CN10253ACCNN110225233002252335A权利要求书1/1页1.一种高温炉尾气处理装置，包括燃烧室及盖于燃烧室顶部的燃烧室顶盖，其特征在于，还包括设置于燃烧室内的残渣粉碎装置，所述残渣粉碎装置具有中空网格框架，所述网格的交汇点处设有用于将固体残渣打碎的凸起尖端。2.如权利要求1所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述高温炉尾气处理装置还包括设置在燃烧室外壁的残渣粉碎装置。3.如权利要求1或2所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述残渣粉碎装置采用镍合金制造。4.如权利要求1或2所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述残渣粉碎装置凸起尖端的尖端向上。5.如权利要求1所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，在所述燃烧室的内壁焊接多个支点，将所述安装于燃烧室内的残渣粉碎装置置于所述安装支点上。6.如权利要求2所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，在所述燃烧室内壁及外壁均焊接多个支点，将所述安装于燃烧室内的残渣粉碎装置置于所述燃烧室内臂的安装支点上，将所述安装于燃烧室外臂的残渣粉碎装置置于所述燃烧室外壁的安装支点上。7.如权利要求1或2所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述残渣粉碎装置上的凸起尖端的长短相间。8.如权利要求1所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，依据所述燃烧室的形状设置所述残渣粉碎装置的形状。9.如权利要求8所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述残渣粉碎装置为圆形。10.如权利要求2所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，依据所述燃烧室的形状及所述燃烧室顶盖的形状设置所述残渣粉碎装置的形状。11.如权利要求10所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述安装于燃烧室内的残渣粉碎装置为圆形，所述安装于燃烧室外壁的残渣粉碎装置为圆环形。12.如权利要求11所述的高温炉尾气处理装置，其特征在于，所述安装于燃烧室外壁的残渣粉碎装置的内环直径大于所述燃烧室的直径，外环直径则小于所述燃烧室顶盖的直径。2CCNN110225233002252335A说明书1/3页高温炉尾气处理装置技术领域[0001]本发明涉及半导体工艺中的高温炉装置领域，特别涉及一种高温炉尾气处理装置。背景技术[0002]硅片制造的很多工艺如热生长氧化物、离子注入后硅片表面的热退火、淀积膜、玻璃体回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高温炉设备。由于这些工艺与温度有密切关系，这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。[0003]高温炉通常包括工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气处理装置及温控系统。工艺腔是对硅片进行加热的装置，硅片传输系统实现在工艺腔中装卸硅片，气体分配系统则通过将正确的气流传送到工艺腔来维护工艺腔内的气氛，尾气处理装置用于清除和处理工艺腔中产生的工艺尾气，温控系统控制工艺腔的温度及升降温的速率等。[0004]图1为现有技术中的一种高温炉尾气处理装置剖面结构示意图。如图1所示，尾气通过尾气进气管1进入尾气处理装置燃烧室2中的尾气燃烧口3，将尾气中的易燃气体引燃，使尾气中的易燃气体减少成几乎无害的副产物。剩余尾气及尾气燃烧后的固体残渣上升至燃烧室顶盖4处受到阻挡，固体残渣回落至燃烧室2内。由于燃烧室顶盖4只是盖于燃烧室顶部并未被固定，在燃烧室2内的强大气压作用下，燃烧室顶盖4会被顶起，剩余尾气及部分固体残渣从燃烧室顶盖4与燃烧室2间的缝隙进入尾气处理装置的炉腔14及洗涤器5。洗涤器5包括上喷嘴6、多