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一种玻璃盖板镀膜的方法.pdf
2023-06-20
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一种玻璃盖板镀膜的方法.pdf
一种玻璃盖板镀膜的方法，用有机溶剂清洗蒸镀源，清洗晾干后，在热风炉内205℃温度下干燥110分钟，向蒸镀源中填充高纯度碱金属，并将蒸镀源置入蒸发源中的蒸发源槽中，对玻璃盖板进行清洗；给蒸镀腔装入掩模板，系统对玻璃盖板和掩模板进行对位和接合；蒸镀腔的气体压力下降到1×10-3Pa时，开启蒸镀源的加热源；当蒸镀腔的真空度降到5×10-5Pa，同时腔内的温度达到800℃时，并打开气阀通入氧化性气体；薄膜厚度达到10～200nm时，关闭气阀和加热源，所述的蒸镀腔构成密封环境，在氧化性气体的环境下缓慢蒸发碱金属，所
2023-06-20
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2023-05-25
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2023-11-13
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