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多晶炉红外测温装置及采用多晶炉红外测温装置的多晶炉.pdf
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多晶炉红外测温装置及采用多晶炉红外测温装置的多晶炉.pdf
一种多晶炉红外测温装置，包括温度计基架、第一镜、第二镜、螺塞、石英棒、检测套杆、红外测温仪、元件承载部。温度计基架固定在多晶炉的腔体的上法兰上，其中，温度计基架包括固定在腔体上法兰上的固定座、固定在固定座上的观察筒及固定在观察筒上的密封座，其中固定座的中心开设有观察孔及穿入孔，观察筒与观察孔同心设置，密封座的通孔与观察筒的观察孔同心设置，第一镜安装在密封座的通孔内。螺塞旋在温度计基架的固定座上，且与固定座上的穿入孔同心。元件承载部设置在在温度计基架上，将第二镜、红外测温仪置于密封座正上方。本发明还提供一种
2023-06-20
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多晶炉红外控温装置及采用多晶炉红外控温装置的多晶炉.pdf
一种多晶炉红外控温装置及采用多晶炉红外控温装置的多晶炉，属于单晶硅生产设备技术领域，多晶炉红外控温装置包括基恩士KV-5000PLC、红外测温仪、石墨加热器、AC电源、PC机、控制箱、操作平台、操作箱。红外测温仪固定在上腔体上面，红外测温仪与基恩士KV-5000PLC相连，红外测温仪将测量的信号传输到基恩士KV-5000PLC中，通过工装调整红外测温仪，使红外测温仪与测温点对准；基恩士KV-5000PKLC安装在控制箱内，AC电源安装在操作平台上，PC机安装在操作箱上。本发明的有益效果在于：提高设备可靠性
2023-06-20
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多晶硅铸锭炉测温装置.pdf
一种多晶硅铸锭炉测温装置，设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分，包括：热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置；测温装置包括：外套杆、内套杆、热电偶、锁紧套杆、信号输出端子；作业过程中，通过热场件的加热，使得热电偶将信号通过信号输出端子传递给PLC，PLC通过控制程序显示出温度值，可以测量到热场内部温度；便于作业人员及时调节工艺参数，保证硅锭能正常生长。
2023-06-20
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多晶炉装置.pdf
本发明公开一种多晶炉装置，其包括炉体、隔热组件、熔融组件、热交换器、开合机构及多孔板。炉体具有冷却系统及多个加热器。隔热组件配置于炉体内且隔热组件具有开口。熔融组件配置于隔热组件内且熔融组件的底部对应开口。热交换器配置于底部。开合机构配置于隔热组件外且包括至少一挡板，至少一挡板适于开启或关闭，以暴露或隔绝开口。多孔板配置于热交换器与开合机构之间。
2023-06-16
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新型多晶炉加热装置.pdf
一种新型多晶炉加热装置，包括：外壳、热场装置、加热装置、抽真空装置、悬挂支撑装置；热场装置包括：隔热笼、外保温层、内保温层、坩埚底板、热交换台侧部保温条、热交换台、底部保温层、热交换台底部保温层、顶部保温层；当需要定向结晶时，缓慢提起隔热笼，底部保温层与热交换台底部保温层脱离产生缝隙，大量的辐射热能会经热交换台从此缝隙散发，在硅液的结晶面形成一个垂直均匀分布的温度梯度，通过控制散热，加热使硅液的结晶凝固得到有效控制，从而生产出符合使用要求的多晶硅铸锭。
2023-06-20
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