拉晶炉副室旋转机构.pdf
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相关资料
拉晶炉副室旋转机构.pdf
本发明提供一种可使得拉晶炉的副室转动平稳的拉晶炉副室旋转机构。该拉晶炉副室旋转机构,副室转动设置机座上,在机座上设置电机,电机输出轴通过齿轮传动机构与副室相连。
拉晶炉的副室装置、拉晶炉及其控制方法.pdf
本发明涉及拉晶炉技术领域,提供一种拉晶炉的副室装置、拉晶炉及其控制方法,包括第一副室,第一副室内部设有用于提拉硅棒的第一提拉机构;第二副室内部设有吸料机构以及用于提拉吸料机构的第二提拉机构;旋转机构用于与拉晶炉的炉体转动连接,旋转机构分别与第一副室和第二副室相连接;驱动机构的驱动端与旋转机构相连接,驱动机构能够驱动旋转机构相对于炉体旋转,以使得第一副室或第二副室能够与炉体的炉口对接。本发明利用旋转机构带动第一副室和第二副室分别与炉体的炉口对接切换,实现了拉制硅棒与吸料除杂两种工作模式的快速切换,既能够提高
拉晶炉副室本体加工工装.pdf
本发明提供一种定位迅速可靠、可以有效缩短拉晶炉的副室本体加工时间的拉晶炉副室本体加工工装。它包括两个底座,每个底座上部有两个截面为半圆形的凹槽,它还包括与底座成可拆卸连接的压板,每个压板上也有两个截面为半圆形的凹槽,压板上的凹槽与底座上的凹槽组成了截面为圆形的通孔。
一种拉晶炉的拉晶机构.pdf
本发明提供一种拉晶炉的拉晶机构,包括:热屏蔽反射器,位于坩埚上方,围绕坩埚形成一个中央开口,使由坩埚内熔体提拉生长的晶锭从所述中央开口穿过;籽晶夹,位于坩埚上方,设有固定结构夹持籽晶;提拉部件,与所述籽晶夹连接,控制所述籽晶夹在由坩埚内熔体提拉生长晶锭的提拉方向上提升或下降;其中,所述籽晶夹具有在垂直所述提拉方向上的横向延伸部分,且所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影覆盖由坩埚内熔体提拉生长的晶锭在所述平面上的投影。本发明的拉晶机构使晶锭顶端的热场更加稳定,明显改善了晶锭前端部分的均匀性和内部缺陷
拉晶炉下炉室的炉底板.pdf
本发明提供一种在炉底板的焊缝漏水时防止所述水进入炉体内的拉晶炉下炉室的炉底板。该炉底板,水封板焊接在炉底板的底面上,在炉底板与水封板之间的具有开在炉底板底面上的冷却水槽。