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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102564123A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102564123A(43)申请公布日2012.07.11(21)申请号201010611229.0C22B9/22(2006.01)(22)申请日2010.12.29(71)申请人北京有色金属研究总院地址100088北京市西城区新街口外大街2号(72)发明人尹中荣李全旺王钺张睿孙照富王征张延宾戴天舒李勍周新明王轩高亚杰(74)专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司11100代理人朱丽华(51)Int.Cl.F27B14/04(2006.01)F27B14/08(2006.01)F27B14/20(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书77页页附图附图99页(54)发明名称一种电子束熔炼炉(57)摘要本发明公开了一种电子束熔炼炉,包括一带有进料口及出料口的炉体,炉体的一侧设进料机构,炉体内由前至后依次置有水平坩埚、铸锭坩埚;所述的水平坩埚置于进料口处,铸锭坩埚紧挨水平坩埚之后且位置低于水平坩埚;在水平坩埚与铸锭坩埚的上方均固定有电子枪;还包括一用于完成送料、熔炼及出料全过程的电机拖动系统,该拖动系统的拖锭机构承载铸锭并控制其升降;该电子束熔炼炉配有真空系统及电控柜和观察窗;所述进料机构至少为整料进料装置和散料进料装置中的一种;水平坩埚和铸锭坩埚上方均至少固定有一把大功率电子枪。其适用于各种难熔金属、合金与其化合物和复合材料,尤其是多晶硅。CN1025643ACN102564123A权利要求书1/1页1.一种电子束熔炼炉,包括一带有进料口及出料口的炉体,炉体的一侧设进料机构,炉体内由前至后依次置有水平坩埚、铸锭坩埚;所述的水平坩埚置于进料口处,铸锭坩埚紧挨水平坩埚之后且位置低于水平坩埚;在水平坩埚与铸锭坩埚的上方均固定有电子枪;还包括一用于完成送料、熔炼及出料全过程的电机拖动系统,该拖动系统的拖锭机构承载铸锭并控制其升降;该电子束熔炼炉配有真空系统及电控柜和观察窗;其特征在于:所述的进料机构至少为整料进料装置和散料进料装置中的一种;水平坩埚和铸锭坩埚的上方均固定有至少一把大功率电子枪。2.根据权利要求1所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的散料进料装置为筒式进料机构,包括一上有进料口、下有出料口的主料筒,该主料筒的下开口下方设有一漏斗,漏斗的下开口处接有一溜槽;该漏斗及溜槽均设在炉体内;料筒与漏斗间固定有阀门装置,并带有一控制开合机构,同时设有密封装置;在主料筒旁侧开有用于抽真空的管道。3.根据权利要求2所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的控制开合机构为气压缸或液压缸装置;所述的料筒内设有料筒内衬;所述的主料筒上设有可开合的密封盖。4.根据权利要求1所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的大功率电子枪的枪芯为大功率枪芯,枪芯的灯丝外围装有用于将轰击电流聚束的内罩;在电子束的光路系统中配置至少两组匹配的磁透镜以及拦孔,在阳极座和枪室下筒之间装有放置第一磁透镜的线圈室,在枪室下筒和底座之间装有带水冷的拦孔座,其上安装有拦孔;在枪的底座上装有偏转和扫描线圈,在偏转和扫描线圈之上是第二磁透镜的线圈;配置一风冷冷却单元,在枪芯的外面加有一个枪罩,在枪罩上安装一个风机,利用所述的安全罩、一组导风筒及在阴极部件外装有的外罩组件在枪芯本体周围共同围设构建冷却风路。5.根据权利要求4所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的枪室下筒上装有使枪室真空度保持在1×10-3Pa至5×10-2Pa之间的氩气控制聚焦系统。6.根据权利要求4所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的电子枪的偏转扫描线圈的铁芯结构为圆环状。7.根据权利要求4所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述枪室的阀门采用带有水冷结构的插板阀。8.根据权利要求4所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的电子枪枪芯具有散热单元,该散热单元的上、下散热体为放射状辐板结构;在电子枪枪芯与灯丝固定块的连接处,用螺钉通过中间一压板压紧灯丝;电子枪枪芯瓷座的纵壁外形呈波浪形结构。9.根据权利要求1所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的拖动系统采用全自动运行及手动控制方式中的至少一种。10.根据权利要求1所述的电子束熔炼炉,其特征在于:所述的拖锭机构采用调频电机控制其拖锭速度。2CN102564123A说明书1/7页一种电子束熔炼炉技术领域[0001]本发明涉及一种电子束熔炼炉。背景技术[0002]随着我国先进制造业的迅速发展和应用领域的扩大,对高纯金属及合金的需求量越来越多,常规的冶炼方法已很难满足要求,而真空电子束熔炼是一种有效的提纯方法,特别是对于在冶炼温度下具有较低蒸汽压的金属和合金更为有效。[0003]高科技的发展对材料的性能提出了新的要求,而材料新功能的发现和应用又促进高科技的