蓝宝石单晶炉.pdf
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相关资料
蓝宝石单晶炉.pdf
本发明公开了一种蓝宝石单晶炉,包括炉体、坩埚和加热线圈,所述炉体的上端设有开口,从所述炉体的开口处一直到炉体的底部固定安装有保温筒,所述保温筒的上端设有盖板,所述盖板上设有提拉杆安装孔,所述提拉杆安装孔的左、右两侧边分别设有氮气输入口和氮气排出口,所述保温筒的底部固定安装有支撑座,所述支撑座上固定安装有坩埚,所述坩埚的外壁上包裹一层石英圈,所述石英圈外绕有加热线圈。本发明减少了坩埚的损耗,节约了能耗、减少了成本,生产出来的蓝宝石晶体颜色纯净。
蓝宝石单晶电阻生长炉.pdf
一种蓝宝石单晶电阻生长炉,属于蓝宝石单晶培养设备领域,解决了传统蓝宝石单晶电阻生长炉打开大炉盖时费时费力的问题,它包含真空炉体,在真空炉体内部包含保温层、加热电极、电阻加热元件、坩埚和籽晶杆,所述坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间位置,在坩埚的上方设有保温层,在坩埚周围设置有电阻加热元件,电阻加热元件的上端与加热电极固定连接,加热电极还与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外,在加热电极内设有水循环通道,在电阻加热元件周围及下方设置有保温层;所述真空炉体上设置有大炉盖和小炉盖,在小炉盖上设置有旋转机构,所
蓝宝石单晶炉的水冷电极.pdf
本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的水冷电极,包括电极主体,电极主体一端设有水冷沉孔,并配有循环水接头,循环水接头包括本体、内水管和外水道以及分别与内水管和外水道沟通的两个水管接口,本体与电极主体水冷沉孔通过匹配的螺纹密封连接;电极主体的另一端设有V型锁紧槽,V型锁紧槽配有电极锁紧块,电极锁紧块在螺栓和螺母驱动下,由V型锁紧槽的沿口向槽底滑行;电极主体通过四个固定螺栓与蓝宝石单晶炉体连接,它们的结合面上配有绝缘垫片和O型密封圈,该绝缘垫片的端面外缘作为O型密封圈的支撑点,固定螺栓与电极主体之间也配有绝缘垫片;
蓝宝石单晶炉隔热保温系统.pdf
本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的隔热保温系统,包括中隔热层与下隔热层,中隔热层内层为中心隔热钨屏,中心隔热钨屏和中隔热层通过定位销装配在腔体内壁设有的支撑钢板上,中心隔热钨屏以及中隔热层各层之间均通过中隔热层间隔钨丝弹簧均匀隔开;中心隔热钨屏和中隔热层的顶部设有上隔热层,下隔热层则装配于下法兰的下铜盘上;上隔热层中心设有塔式隔热层,塔式隔热层通过悬吊螺栓与上法兰连接;下隔热层、上隔热层、塔式隔热层各层间设有对应的定位孔,定位孔间设有等高的钼隔环,钼螺栓分别穿过上隔热层、塔式隔热层中各定位孔和层间钼隔环后通
蓝宝石单晶炉的称重机构.pdf
本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的称重机构,称重负载板配有称重轴承座,称重负载板的下表面设有三个均布在同心圆周上的支撑槽口,承载旋转轴穿过称重轴承座,并通过调心滚子轴承和滚针轴承定位于称重轴承座中;称重支撑底板中心设有贯穿孔,贯穿孔周边均匀分布一个称重辅助支柱和两个称重传感器,它们通过螺栓固定安装在称重支撑底板上,两个不同量程的传感器,称重辅助支柱和小量程称重传感器均配有小量程称重支点,大量程称重传感器配有大量程称重支点;安装在称重负载板上的承载旋转轴穿过称重支撑底板中心的贯穿孔,设在称重支撑底板上的三个称