结晶硅制造设备用的搬运设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102605423A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102605423A(43)申请公布日2012.07.25(21)申请号201210019067.0(22)申请日2012.01.20(30)优先权数据2011-0101952011.01.20JP(71)申请人大福股份有限公司地址日本大阪府(72)发明人荻原尚(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人陈小雯(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)C30B35/00(2006.01)C30B15/20(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书1111页页附图附图55页(54)发明名称结晶硅制造设备用的搬运设备(57)摘要本发明提供一种结晶硅制造设备用的搬运设备，以减轻多结晶硅体至纵断加工为止的作业员的负担。一种结晶硅制造设备用的搬运设备，位于直线状的移动路径L的一侧部分L1的一侧空间Z1，以及位于另一侧部分L2的另一侧空间Z2，由形成有通过用开口4让搬运车1由通过的分隔壁3分隔且互相邻接般配置，铸造多结晶硅体的多个多结晶炉R沿着一侧部分L1被设置，将多结晶炉R所铸造的多结晶硅体进行纵断加工的多个加工机K沿着另一侧部分L2被设置，自由搬运多结晶硅体的搬运车1通过分隔壁3搬运多结晶硅体般被构成。CN1026543ACN102605423A权利要求书1/2页1.一种结晶硅制造设备用的搬运设备，是沿着被设定为经由制造结晶硅体的多个结晶炉状态的移动路径自由移动，且在该搬运设备中设有可自由搬运该多个结晶炉所制造的结晶硅体的搬运车，其中；该多个结晶炉为铸造多结晶硅体的多结晶炉；该移动路径被设定为直线状；位于该移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间以及位于该移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间是被分隔板所分隔且互相邻接而被配置，其中该分隔板形成有可让该搬运车自由通过的通过用开口；该多个多结晶炉沿着该一侧空间中的该移动路径而被设置；将该多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体纵断加工成角柱状的多个加工机，沿着该另一侧空间中的该移动路径的另一侧部分而被设置；以及该搬运车可将该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体通过该分隔板，并从该多结晶炉自由搬运至该多个加工机。2.如权利要求1所述的结晶硅制造设备用的搬运设备，其中；在该一侧空间且与该移动路径的端部相对应的区块以及位于该另一侧空间且与该移动路径的端部相对应的区块中，设有坩埚支撑平台自由载置并支撑用以铸造该多结晶硅体的坩埚；该一侧空间中的该坩埚支撑平台，被设置在通过人工操作投入该多结晶硅体原料至空的坩埚的铸造准备作业用区块中；该另一侧空间中的该坩埚支撑平台，被设置在通过人工操作对收容该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体的该坩埚进行破碎的坩埚破碎作业用区块中；该搬运车具有将该坩埚自由支撑且在与移载对象区块之间可自由移载该坩埚的移载装置，当对应该铸造准备作业用区块的该移动路径中的位置为停止的状态下使该移载装置动作，将该一侧空间中的该坩埚支撑平台当作该移载对象区块，可自由接收被投入有该多结晶硅体原料的该坩埚；当对应该坩埚破碎作业用区块的该移动路径中的位置为停止的状态下使该移载装置动作，将该另一侧空间中的该坩埚支撑平台当作该移载对象区块，可自由送出收容被铸造的该多结晶体硅的该坩埚。3.如权利要求2所述的结晶硅制造设备用的搬运设备，其中；在与该坩埚破碎作业用区块沿着该移动路径的长边方向上相互邻接的加工准备用作业区块中，设置有将与该多结晶硅体的底面粘接的托盘、以粘着面向上的姿势载置支撑的托盘支撑平台；与该托盘的粘接面为粘接状态的该多结晶硅体从该搬运车被供给至该加工机，且该加工机对该多结晶硅体纵断加工成角柱状；该搬运车，通过该移载装置将该托盘由该托盘支撑平台以及该加工机自由移载。4.如权利要求3所述的结晶硅制造设备用的搬运设备，其中；该一侧空间与该另一侧空间的中，配置有多个自由收纳该坩埚以及该托盘的收纳部；该搬运车，在该多个收纳部之间自由授受该坩埚以及该托盘。5.如权利要求1～4项中任一所述的结晶硅制造设备用的搬运设备，其中；该搬运车是由具备沿着该移动路径自由行走的行走台车、以及沿着竖立于该行走台车2CN102605423A权利要求书2/2页上的升降桅杆自由升降的升降台的堆装起重机所构成。3CN102605423A说明书1/11页结晶硅制造设备用的搬运设备技术领域[0001]本发明涉及一种硅结晶体制造设备用的搬运设备，设置有搬运车沿着被设定为经过制造硅结晶体的多个硅结晶炉的状态下的移动路径上自由移动且自由搬运前述结晶炉所制造的结晶硅体。背景技术[0002]以过往的前述结晶硅制造设备用的搬运设备为例，设置有作为结晶炉的单结晶硅体制造装置(以下简称